[发明专利]光学镀膜装置

权利要求书

1.一种光学镀膜装置，其包括真空镀膜室、待镀元件承载架及镀膜源， 所述待镀元件承载架及镀膜源设置于所述真空镀膜室内，其特征在于，所述 光学镀膜装置还包括一镀膜挡板，所述镀膜挡板设置于所述待镀元件承载架 与所述镀膜源之间，所述镀膜挡板接近所述待镀元件承载架而远离所述镀膜 源而设置，将所述真空镀膜室分隔成两个空间，所述镀膜挡板包括一第一挡 板及一第二挡板，所述第一挡板具有一通孔，所述通孔对应所述待镀元件承 载架与镀膜源设置，以使所述镀膜源产生的镀膜材料气体通过所述通孔到达 置于待镀元件承载架的待镀元件上，所述第二挡板可相对所述第一挡板移动 并分别遮挡或暴露所述通孔。

2.如权利要求1所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述第二挡板可转 动地固定于所述第一挡板上。

3.如权利要求1所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜室具 有一内壁，所述第一挡板固定于所述真空镀膜室的内壁上。

4.如权利要求3所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述内壁上具有一 凹槽，所述第一挡板固定于所述凹槽中。

5.如权利要求1所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述第二挡板包括 多个子挡板，所述多个子挡板可相对所述第一挡板转动从而使所述通孔被遮 挡或暴露。

6.如权利要求5所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述多个子挡板分 别通过一旋转轴固定于所述第一挡板上。

7.如权利要求5所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述多个子挡板的 形状为扇叶形。