[发明专利]化学气相沉积系统

权利要求书

1.一种化学气相沉积系统，其包括进气装置、抽气装置以及连接于进气装置 与抽气装置之间的反应器，该反应器内设置有用于放置基底的载具，其特征 在于，该反应器内位于进气装置与抽气装置之间设置多个隔板，每一隔板均 具有至少一个通孔，相邻两个隔板间的通孔相互错开，该反应器具有与进气 装置相连的顶壁以及与抽气装置相连的底壁，该顶壁平行于底壁，该多个隔 板与顶壁之间的夹角为锐角。

2.如权利要求1所述的化学气相沉积系统，其特征在于，该反应器包括相对 的第一侧壁与第二侧壁，该多个隔板包括第一隔板与第二隔板，第一隔板与 第二隔板间隔设置，该第一隔板和第二隔板与第一侧壁和第二侧壁相连接且 使反应器内的腔体分隔形成多个空间，每一第一隔板具有第一通孔，每一第 二隔板具有第二通孔。

3.如权利要求2所述的化学气相沉积系统，其特征在于，该第一通孔设于第 一隔板与第一侧壁之间，该第二通孔设于第二隔板与第二侧壁之间。

4.如权利要求2所述的化学气相沉积系统，其特征在于，该第一隔板与第二 隔板彼此平行。

5.如权利要求1所述的化学气相沉积系统，其特征在于，该多个隔板的表面 呈波浪形。

6.如权利要求1所述的化学气相沉积系统，其特征在于，该多个隔板的表面 具有多个微凸起。

7.如权利要求1所述的化学气相沉积系统，其特征在于，该多个隔板与顶壁 之间的夹角为10°～45°之间的任一角度。

8.如权利要求1所述的化学气相沉积系统，其特征在于，该化学气相沉积系 统进一步包括加热装置，该加热装置分别连接至载具与多个隔板，以分别将 载具与隔板加热至不同的温度。

9.一种化学气相沉积系统，其包括进气装置、抽气装置以及连接于进气装置 与抽气装置之间的反应器，该反应器内设置有用于放置基底的载具，其特征 在于，该反应器内位于进气装置与抽气装置之间设置多个隔板，该多个隔板 将反应器内的腔体分隔成多个空间，每相邻两个空间定义出至少一个通孔， 每一空间相对两端的通孔彼此错开，该反应器具有与进气装置相连的顶壁以 及与抽气装置相连的底壁，该顶壁平行于底壁，该多个隔板与顶壁之间的夹 角为锐角。