[实用新型]具有外通管路的真空腔体

说明书

技术领域

本实用新型是一种真空腔体，特别是涉及一种将门板以可枢转的方式安装在门框上的具有外通管路的真空腔体。

背景技术

在半导体相关制程中，许多制程都需要使用到真空设备，而且随着制程的不同，必须在真空设备中安装门框以及可相对于门框开启的门板，此外，有的制程还需要在门板附近安装管路及适当的接头，通过输送所需的气体，而以下针对安装在门板上的管路设计来说明。

如图1所示，一种以往真空腔体1包含：一中空腔壁11、一直立安装在腔壁11内且界定出一门口121的门框12、及一可朝一侧旋转开启地盖合在该门框12上以关闭门口121的门板13。该腔壁11具有一内外贯穿且位在门框12附近的外通孔111。安装时，在该腔壁11上安装一供气装置14，并在供气装置14上连接一连接管15，令该连接管15穿过外通孔111伸入腔壁11内，再转向穿伸出门板13，并朝向一块安装在门板13上的靶材16，当驱动该供气装置14时，气体就可以经由连接管15输送至门板13的靶材16上。

虽然以往真空腔体1是透过连接管15将气体由腔壁11外的供气装置14送至腔壁11内的门板13处，但是当门板13旋转开启时，却可以发现，位在腔壁11与门板13之间的连接管15，容易发生管路及配线干涉，甚至受到门板13压迫的情形，在不小心的情况下也会出现扯断管路及配线的情况，造成真空腔体1使用及维修上的不便。为此，也有厂商将上述柔软的塑胶连接管15换装成刚硬的不锈钢连接管15，由此延长连接管15的使用寿命，然而如此一来，将使得门板13在开启上更为不易，所以厂商干脆将门板13封死，令门板13无法开启，而此却又会相对降低门板13的使用性，因此上述真空腔体1在设计上仍有待改进。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于，提供一种可避免管路干涉且具有较佳使用性的具有外通管路的真空腔体。

本实用新型的一种具有外通管路的真空腔体，包含：一腔壁、一门框及一门板。该腔壁界定出一真空容室，并具有一由真空容室连通至外壁面的外通孔。该门框对应于外通孔地安装在真空容室内且界定出一门口，并具有一界限出该门口的内周缘、一远离内周缘且固接于腔壁的外周缘、一连接在内、外周缘间的框侧面，及一由框侧面经外周缘连通至外通孔的门框通道。该门板可朝一侧旋转开启地盖合关闭在该门框上，并具有一叠置在该框侧面上且封闭门口的门侧面、一相反于门侧面的内通面，及一由门侧面连通至内通面且连接该门框通道的门板通道。

本实用新型的有益效果在于：直接在门框与门板中穿设有相互连通的门框通道与门板通道，使得门板能旋转开关以具有较佳的使用性，而且也不会发生管路干涉压迫的情形。

附图说明

图1是以往真空腔体的一部分剖视示意图，图中的一管路未被剖切；

图2是本实用新型的真空腔体的一优选实施例的一部分剖视示意图，图中的一管路未被剖切。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。

如图2所示，本实用新型真空腔体的优选实施例包含：一腔壁2、一门框3、一门板4及一气封件5。

该腔壁2具有一内壁面21、一外壁面22、一由内壁面21界定而成的真空容室23及一由真空容室23连通至外壁面22的外通孔24。

该门框3对应于外通孔24地直立安装在真空容室23内，且界定出一呈中空矩型的门口31，并具有一界限出该门口31的内周缘32、一远离内周缘32且固接于腔壁2的内壁面21上的外周缘33、一连接在内、外周缘32、33间的框侧面34，及一由框侧面34经外周缘33连通至外通孔24的门框通道35。

该门板4可朝一侧旋转开启地盖合关闭在该门框3上，并具有一叠置在该框侧面34上且封闭门口31的门侧面41、一相反于门侧面41的内通面42、一由门侧面41连通至内通面42且连接该门框通道35的门板通道43，及一凹设在门侧面41上且自门板通道43的一端周缘径向往外扩大的嵌槽44。

该气封件5为一由橡、塑胶材质制成的O型环，安装在框侧面34与门侧面41之间，且嵌装在该嵌槽44中，圈围在门框通道35与门板通道43间。当然，在设计上也可以采用其他气封构造，例如真空油脂，所以不以本实施例为限，在此不再详细说明。