[实用新型]真空设备的加热装置无效
申请号: | 200820001853.7 | 申请日: | 2008-01-17 |
公开(公告)号: | CN201158700Y | 公开(公告)日: | 2008-12-03 |
发明(设计)人: | 黄泳钊;汪明义 | 申请(专利权)人: | 北儒精密股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王昭林;崔华 |
地址: | 中国台湾台南*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空设备 加热 装置 | ||
1.一种真空设备的加热装置,其直立设置于该真空设备的一腔体内部,并包含一座基座以及一面设置于该基座上的盘曲形发热体,其特征在于:
还包含一个呈直立状地设置于该基座的一表面上的支撑齿条架,该盘曲形发热体面对该基座的该表面,且可脱离地插挂定位于该支撑齿条架上。
2.根据权利要求1所述真空设备的加热装置,其特征在于:该基座具有一块立壁、及一块横向延伸设置于该立壁周缘的周壁,该支撑齿条架容置于该基座中且直立固定于该立壁内表面上,该盘曲形发热体容置于该基座中。
3.根据权利要求2所述真空设备的加热装置,其特征在于:还包含一个可抽离地纵向插穿设置于该支撑齿条架中的栓杆,该支撑齿条架具有一根固设于该基座的立壁内表面的直立条、多个纵向间隔排列设置于该直立条远离该立壁的一侧上且其开口朝向该立壁的横U型卡齿、以及多个与该多个卡齿呈交错排列的卡槽,该盘曲形发热体插挂定位于所述多个卡槽中,该栓杆可抽离地纵向串插设置于卡齿与卡槽中。
4.根据权利要求3所述真空设备的加热装置,其特征在于:该栓杆具有一个能插穿该基座的周壁以朝下穿置入卡齿与卡槽中的直杆身,以及一个设置于该直杆身顶端且勾抵于该周壁的外表面上的勾持部。
5.根据权利要求1至4任一项所述真空设备的加热装置,其特征在于:还包含一个导热单元,该导热单元具有一块能全面遮覆该盘曲形发热体的导热板、一个设置于该导热板面对该盘曲形发热体的一表面上的挂勾、以及一个设置于该基座的该表面上且其顶面凹设一插槽的嵌挂块,该挂勾的一端部可脱离地插置入该嵌挂块的插槽中。
6.根据权利要求5所述真空设备的加热装置,其特征在于:该导热单元的导热板为一浪板。
7.根据权利要求6所述真空设备的加热装置,其特征在于:该盘曲形发热体为电热管。
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