[实用新型]具有均匀电场分布的槽孔式电极

权利要求书

1.一种具有均匀电场分布的槽孔式电极，其特征在于，至少包含：

一电极片，具有一第一表面及一第二表面，其电性连接于一射频电流源，其用于产生一电场；

一微扰槽孔，其对称蚀刻于该电极片的一边，其用于控制该电场强度分布；

一第一边际槽孔，其对称该微扰槽孔并蚀刻于该电极片的一边，其用于控制该电极片边缘上的电场强度分布；

一第二边际槽孔，其正交该第一边际槽孔并蚀刻于该电极片的两边，其用于控制该电极片边缘上的电场强度分布；

其中，该微扰槽孔与该射频电流源为同一方向。

2.根据权利要求1所述的具有均匀电场分布的槽孔式电极，其特征在于，该电极片材质选自铝、被覆铝、硅、石英、碳化硅、氮化硅、碳、氮化铝、蓝宝石、聚酰亚胺、与铁氟龙其中之一。

3.根据权利要求1所述的具有均匀电场分布的槽孔式电极，其特征在于，该电极片选自方形、圆形、六角形、多边形。

4.根据权利要求1所述的具有均匀电场分布的槽孔式电极，其特征在于，该射频电流源的操作频率范围为10MHz到10GHz。

5.根据权利要求2所述的具有均匀电场分布的槽孔式电极，其特征在于，该射频电流源的最佳操作频率为13.56MHz。

6.根据权利要求1所述的具有均匀电场分布的槽孔式电极，其特征在于，该电极片的尺寸范围为一万分之一到半导波长。

7.根据权利要求1所述的具有均匀电场分布的槽孔式电极，其特征在于，该射频电流源馈入到该电极片的阻抗为1到300欧姆。

8.根据权利要求1所述的具有均匀电场分布的槽孔式电极，其特征在于，在该射频电流源与该电极片之间电性连接改变阻抗大小的阻抗匹配电路。

9.根据权利要求1所述的具有均匀电场分布的槽孔式电极，其特征在于，该具有均匀电场分布的槽孔式电极被一接地金属腔体所包覆。