[实用新型]具有绝缘功能的基板载具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基板载具，特别涉及一种可以载运基板，并将基板送入一个溅镀室内接受溅镀加工的具有绝缘功能的基板载具。

背景技术

以往连续式真空溅镀设备为了达到连续加工的目的，通常利用一些由马达、输送轮及皮带等等零件组合而成的输送机构，将承载有基板的基板载具送入溅镀室内接受溅镀加工，有时为了加工的需要，必需让基板载具具有绝缘的功能，以往的作法是以绝缘材质来制造输送机构的输送轮，如此当基板载具跨架在绝缘的输送轮上时，就可以产生绝缘效果地将基板载具送入溅镀室内进行加工。

这种利用绝缘的输送轮来移送基板载具的真空溅镀设备虽然具有绝缘的功能，但输送轮是输送机构的部分零件，此零件必需再和马达、皮带等等的零件作动力连结，因此，绝缘的输送轮在拆换、组装时都比较麻烦。而且在拆换后，由于基板载具跨架在输送轮上进行移送，为了让基板载具能够平稳地移送，上述输送轮在换装后还需要进行校正，这也会增加拆装上的不方便。也就是说，以往真空溅镀设备以输送轮作为绝缘的手段虽然可行，但却存在着拆装麻烦的缺失。

实用新型内容

本实用新型的目的是在提供一种换装时无需校正、拆装方便的具有绝缘功能的基板载具。

本实用新型的基板载具可承载至少一片基板，并受到一个输送机构驱动而沿着一个行进方向移动，所述基板载具包括：一个供该基板架设的承载板，以及一个架设在该输送机构上的导轨条。该基板载具还包括一个绝缘单元，上述绝缘单元包括至少一块可拆装地连接在所述承载板及所述导轨条间的绝缘块。

本实用新型所述的具有绝缘功能的基板载具，该绝缘单元的绝缘块的数目是多个，所述绝缘块间隔地架设在所述承载板及所述导轨条间。

本实用新型所述的具有绝缘功能的基板载具，该绝缘单元还包括多支连接所述绝缘块及所述承载板的第一螺丝，以及多支连接所述绝缘块及所述导轨条的第二螺丝。

本实用新型所述的具有绝缘功能的基板载具，该承载板包括一个板本体，此板本体具有两个间隔的侧面、一个朝向所述绝缘块的底面，以及多个贯穿上述侧面并接近所述底面的绝缘架孔，而该导轨条具有一个朝向所述绝缘块的顶面，所述绝缘块都具有一个和所述底面贴合的上贴合面，以及一个和所述顶面贴合的下贴合面，而所述第二螺丝穿过所述上贴合面、所述下贴合面后螺锁在所述导轨条上，第一螺丝由所述绝缘架孔穿出所述底面后螺锁在所述绝缘块上。

本实用新型所述的具有绝缘功能的基板载具，所述输送机构具有多个间隔的输送轮，每个输送轮具有一凹导沟，而该导轨条还具有一个围绕一中心轴线设置并架靠在所述输送轮的凹导沟上的圆弧架面。

本实用新型所述的具有绝缘功能的基板载具，该基板载具还包括一个安装在所述承载板上并遮盖所述绝缘架孔的挡板。

本实用新型的有益功效在于：通过在导轨条及承载板间安装绝缘块，不但可以让基板载具具有绝缘的功能，这项设计由于绝缘块设置的位置和基板载具的传动功能无关，故本实用新型该基板载具也具有拆装绝缘块方便以及组装后无需校正的功效。

附图说明

图1是本实用新型基板载具的一较佳实施例的立体使用状态图；

图2是该较佳实施例的一侧面局部使用状态图；

图3是该实施例的一局部立体分解图，主要显示该基板载具的一个绝缘单元和相关元件的对应关系；

图4是该较佳实施例的一局部组合剖视图，主要显示该绝缘单元与相关元件的对应关系。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。

参阅图1、图2，本实用新型基板载具的一较佳实施例可供多片基板11架设，并且跨架在一个输送机构12上，上述输送机构12可将基板11送入溅镀机构的一溅镀室内接受溅镀加工，所述输送机构12包括多个间隔的输送轮121、多条动力衔接输送轮121的皮带122，以及一个传动其中一个输送轮121转动但图中未示出的马达，在每个输送轮121上分别具有一个自表面凹设的凹导沟123。

本实施例的基板载具包括：一个供所述基板11以可取下方式架设的承载板2、一条设在该输送机构12的凹导沟123上方的导轨条3、一个可拆解地连接在承载板2及导轨条3间的绝缘单元4，以及一个架设在该承载板2上并接近底端的挡板5。