[实用新型]小幅直线运动的位移测量装置

权利要求书

1.一种小幅直线运动的位移测量装置，用于往复运动的驱动线圈的位移测量，其特征在于所述位移测量装置包括旋转编码器和驱动线圈的悬挂支撑装置，旋转编码器固定设置，驱动线圈的悬挂支撑装置的变形件或旋转件连接设置旋转编码器的转角连接器，由转角连接器将悬挂支撑装置的变化以旋转角度的形式输入到旋转编码器。

2.根据权利要求1所述的小幅直线运动的位移测量装置，其特征在于所述旋转编码器固定设置，所述驱动线圈的支撑悬挂装置为摇臂悬挂机构，所述摇臂悬挂机构包括橡胶扭簧和摇臂，橡胶扭簧的两端分别连接摇臂，两摇臂分别与驱动线圈和固定体连接，橡胶扭簧上设置与旋转编码器的转角连接器连接的角度输出点。

3.根据权利要求2所述的小幅直线运动的位移测量装置，其特征在于所述旋转编码器固定设置在磁缸座上，角度输出点设置在橡胶扭簧的中部。

4.根据权利要求1所述的小幅直线运动的位移测量装置，其特征在于所述旋转编码器固定设置，所述驱动线圈的支撑悬挂装置为滚臂悬挂机构，所述滚臂悬挂机构包括一扇形块，扇形块的扇形角端与固定体枢接，扇形块的弧面上固定有柔性片，柔性片的另一端与驱动线圈固定。

5.根据权利要求4所述的小幅直线运动的位移测量装置，其特征在于所述扇形块的扇形角端通过一枢轴与固定体连接，所述枢轴与旋转编码器的转角连接器连接作为角度输出点，所述旋转编码器固定设置在磁缸座上。

6.根据权利要求1所述的小幅直线运动的位移测量装置，其特征在于所述旋转编码器固定设置，所述驱动线圈的支撑悬挂装置为板簧悬挂机构，所述板簧悬挂机构包括板簧，板簧的两端分别与固定体和驱动线圈固定，所述板簧上设置与旋转编码器的转角连接器连接的角度输出点。

7.根据权利要求6所述的小幅直线运动的位移测量装置，其特征在于所述板簧为水平平行设置的两片，两板簧的一端固定连接驱动线圈，板簧的另一端固定在一支撑架上，所述一板簧的中部作为角度输出点，旋转编码器的转角连接器与该角度输出点连接。