[实用新型]非接触式探针卡管理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种非接触式探针卡管理装置，直接读取探针卡架上多个探针卡抽屉内的的探针卡无线射频身份识别(RFID)。

背景技术

近年来，搭载有半导体集成电路装置(以后简称：半导体装置)的电子机器的小型化及低价格化等的进展非常迅速；随之，对于半导体的小型化及低价格化的要求亦日益趋强。

通常，半导体装置乃将半导体芯片(chip)与引线框架(lead frame)以焊接导线(bonding wire)加以电气连接后，将半导体芯片及引线框架以树脂或陶瓷来加以封装，而被装配在印刷基板上。在半导体产业的制造流程上，主要可分成IC设计-晶圆制程-晶圆测试及晶圆封装四大步骤。其中所谓的晶圆测试步骤，就是对晶圆上的每颗晶粒进行电性特性检测，以检测和淘汰晶圆上的不合格晶粒。进行晶圆测试时，利用晶圆探针卡的探针刺入晶粒上的接点垫(pad)而构成电性接触，再将经由探针所测得的测试讯号送往自动测试设备(ATE)做分析与判断，藉此可取得晶圆上的每颗晶粒的电性特性测试结果。随着半导体制程技术的进步，半导体元件的尺寸愈来愈小，集成电路愈来愈精密，半导体元件从次微米(Sub-Micro)进入深次微米(DeepSub-Micro)的领域，除了集成电路运作时的准确性及效率必需提高之外，晶圆-半导体元件及集成电路的测试技术是在诸多新元件、制程技术及新材料开发等所不可或缺的重要技术。

现有的探针卡管理，是将探针卡所收藏的复数探针卡搬到探针卡储存柜1内，令各IC在电气上接触送收料机(loader/unloader)后，对电子元件测试装置本体(tester)进行测试，然后，测试完了利用机械手臂将复数IC自送收料机(loader/unloader)搬出，根据测试结果将IC分类成良品或不良品。

在探针卡的管理方面，目前常用的探针卡管理辨识方式有以下几种，但这些做法都有一些使用上的限制。

1.在探针卡储存盒2上贴条码。

条码通常是宽度不等的多个黑条和空白，按照一定的编码规则排列，用以表达一组信息的图形标识符。常见的条码是由反射率相差很大的黑条(简称条)和白条(简称空)排成的平行线图案。条码可以标出物品的生产国-制造厂家-商品名称-生产日期-图书分类号-邮件起止地点-类别-日期等信息

条码的优越性在于条码的读取准确率远远超过人工记录，平均每15000个字元才会出现一个错误。条码的读取速度很快，相当于每秒40个字元。与其它自动化识别技术相比较，条码技术仅仅需要一小张贴纸和相对构造简单的光学扫描仪，成本相当低廉。

但是条码容易磨损，造成资料读取资料不易。条码所需占居的空间过大，对于探针卡储存盒管理而言，不易整合大量条码。

2.在探针卡上焊接电阻。再利用电脑读取阻值，做为探针卡的辨识方式。

利用电阻的阻值来做为探针卡的辨识。电阻的优越性在于电阻读取速度很快。电阻所需占居的空间不大，对于布满电路的探针卡而言，是易整合电阻于探针卡上。

但是电阻的阻值会有误差且随使用时间日久和温度的改变，电阻的阻值会产生变化。另外资料无法写入电阻内，需资料库的配合使用

由此可见，传统以贴条码或电阻作为辨识的方法已出现瓶颈；本案发明人为了解决上述现有技术方式所衍生的各项问题，乃亟思加以尝试突破传统，并经多次苦思与实验研究验证后，终于开发以射频识别(RFID)为主体的探针卡储存管理装置。

发明内容

本实用新型是为改善传统探针卡的管理，因需要不同的探针卡测试不同的IC芯片，探针卡的管理对于IC芯片测试而言是不易整合。

本实用新型是为改善传统探针卡的管理利用电阻作为辨识的方法中，电阻的阻值会有误差，且随使用时间日久和温度的改变，电阻的阻值会产生变化和资料无法写入电阻内，需资料库的配合使用的问题。

本实用新型主要目的在提供一种不易磨损，使用时间日久不会产生资料读取误差，并可以储存资料的装置。

本实用新型提出了一种非接触式探针卡管理装置，包括有：多个探针卡抽屉，其用于储存设有射频识别标签(RFID)的探针卡；一或一个以上的探针卡架，其用于放置多个探针卡抽屉；多个天线，其用于读取设有射频识别标签(RFID)的探针卡资料；一或一个以上的读卡机，其与天线连接并利用天线读取设有射频识别标签(RFID)的探针卡资料；多个非接触式感测器，其用于感测探针卡抽屉的状态；一或一个以上的感测器控制系统，其与非接触式感测器连接，用于控制和管理感测探针卡抽屉的状态；一或一个以上的收发器，其与感测器控制系统和读卡机连接；一外部系统，其与收发器连接。