[实用新型]可供自动取放基板的载具无效
申请号: | 200820008491.4 | 申请日: | 2008-03-24 |
公开(公告)号: | CN201162039Y | 公开(公告)日: | 2008-12-10 |
发明(设计)人: | 黄泳钊;郑博仁 | 申请(专利权)人: | 北儒精密股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/50 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王会卿 |
地址: | 台湾省台南*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动 取放基板 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种载具,特别是涉及一种用于固定基板以进入溅镀设备中进行镀膜程序的载具。
背景技术
参阅图1,一般基板的载具1适用于固定该基板10以进入溅镀室中进行镀膜程序,该载具1包括一承载板11,及一用于固定于基板10周缘的定位单元12。该承载板11具有一个朝向溅镀设备的前侧面111、一个与前侧面111间隔的后侧面112,及一位于前侧面111上的穿孔113,而所述定位单元12包括几片贴靠在承载板11的前侧面111的定位片121,及几根将定位片121安装在承载板11上的螺丝122,上述定位片121具有一个向穿孔113突出以顶抵该基板10的定位部123。
组装时先将基板10摆放在承载板11的穿孔113内,而该基板10的一加工面和承载板11的前侧面111平齐,再以螺丝122将定位片121安装在承载板11上,安装后所述定位片121的定位部123会向基板10突出,并因此将基板10架设在该承载板11的穿孔113内。
上述载具1以螺丝122将基板10以可拆解的方式安装于承载板11上,但是在组装及取下基板10的作业中,必需多次螺转螺丝122,因此在组装及拆解基板10的操作时很麻烦,也因拆卸麻烦的缘故,而无法使用自动化设备取放基板10。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种易于拆卸基板以自动取放基板的载具。
本实用新型可供自动取放基板的载具用来承载所述基板,该载具包括:一承载板,且承载板具有一前侧面、一后侧面,及一个贯穿前、后侧面并界定出一穿孔的孔界定面,所述基板置放于穿孔中。
其特征在于:载具还包括至少一弹扣单元,且弹扣单元具有一安装在承载板的前侧周缘并夹设所述基板周缘的弹扣件,及一由后向前顶抵弹扣件远离所述基板的顶撑杆,该弹扣件具有一固定于承载板上的固定段、一由固定段向所述穿孔延伸的驱动段,及一由驱动段向基板延伸并弹性顶抵基板周缘的夹设段,该顶撑杆顶抵该驱动段以使夹设段向前摆动并远离基板。
本实用新型的有益效果在于:借由该弹扣单元的顶撑杆轴向移动以控制该弹扣件远离所述基板或夹设于所述基板顶缘上,以易于自动将基板固定于承载板上或由承载板上取出,达到易于取放基板的功能。
附图说明
图1是一般载具的侧面视图;
图2是本实用新型可供自动取放的载具的第一优选实施例与一基板的立体分解图;
图3是该第一优选实施例的侧面剖视图,并说明一弹扣件夹设于该基板顶缘的情形;
图4是类似于图3的视图,并说明该弹扣件被顶撑远离该基板顶缘的情形;
图5是本实用新型可供自动取放的载具的第二优选实施例与一基板的侧面剖视图,并说明一弹扣件夹设于该基板顶缘的情形;
图6是类似于图5的视图,并说明该弹扣件被顶撑远离该基板顶缘的情形;及
图7是本实用新型可供自动取放的载具的第三优选实施例与一基板的侧面剖视图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明:
参阅图2、图3与图4,本实用新型可供自动取放基板的载具的优选实施例用来承载所述基板2以进行溅镀薄膜的程序,该载具包括:一直立的承载板3、两个安装于承载板3上以承载所述基板2底缘的承载件4,及一安装于承载板3上以夹设于所述基板2顶缘的弹扣单元5。
该承载板3包括一前侧面31、一后侧面32、一个贯穿前侧面31及后侧面32并界定出一穿孔33的孔界定面34,及两个分别由孔界定面34上缘与下缘向穿孔33内凸伸并邻近后侧面32的抵靠凸缘35。在本实施例中,以承载板3上具有一个穿孔33以便承载一片基板2为例进行说明,但是实际实施时,可依据溅镀设备的容量而在一承载板3上设置多个穿孔33以同时承载多片基板2进入溅镀设备中,因此实施范围不以穿孔33的数量为限。
所述承载件4一左一右地安装在承载板3下侧的抵靠凸缘35前侧面上,且该承载件4顶侧缘上具有一开口朝上且沿横方向延伸的承载槽41,该承载槽41用于卡合在该基板2底缘。在本实施例中,该承载件4以螺丝固定的方式固定于该抵靠凸缘35上,但是实际实施时也可将承载件41直接成形于该承载板3上,因此实施范围不以承载件4固定方式为限。
该弹扣单元5安装于穿孔33上方以用于夹设所述基板2的上缘,该弹扣单元5具有一安装在承载板3的上侧抵靠凸缘35前侧面的弹扣件51、一由后向前贯穿抵靠凸缘35且可前后轴向移动以顶抵弹扣件51摆动远离基板2的顶撑杆52,及一设置于该承载板3的后侧上并驱动该顶撑杆52向前轴向移动的驱动件53。
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