[实用新型]门阀结构有效
申请号: | 200820008717.0 | 申请日: | 2008-03-26 |
公开(公告)号: | CN201180155Y | 公开(公告)日: | 2009-01-14 |
发明(设计)人: | 施玉安;何光俊 | 申请(专利权)人: | 上海北玻镀膜技术工业有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C03C17/00 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 孙皓晨;朱世定 |
地址: | 201614上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 门阀 结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及的是一种机械开启结构,特别涉及的是一种应用于镀膜生产线线上,两个真空室之间的玻璃进出口处处理开启闭合状态的门阀结构。
背景技术
随着国家对节能环保的重视程度日益加深,作为建筑行业所选择的建筑材料也存在的具体的要求,为此大量的建筑物都在使用具有大面积镀膜的玻璃,其已成为建筑行业的规范之一,而目前比较主流的大面积镀膜工艺为磁控溅射镀膜工艺。
所述的磁控溅射镀膜工艺是70年代后发展起来的新型镀膜工艺,其是通过电子在电场作用下加速飞向基片的过程中与惰性气体氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。同时二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响,被束缚在靠近靶面的等离子体区域内,该区域内等离子体密度很高,二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动,该电子的运动路径很长,在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞因此电离出大量的氩离子轰击靶材,经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低,摆脱磁力线的束缚和延长电子的运动路径,改变电子的运动方向,从而提高工作气体的电离率和有效利用电子的能量。在整个镀膜过程当中,镀膜是发生在真空室中,各真空室之间采用门阀进行区隔,因此门阀是镀膜线上重要部件之一,起着举足轻重的作用,如影响整条线的生产能力、腔体真空度维持及寿命、稳定可靠等。
为了获取满足现在生产线上需要的门阀产品,本实用新型创作者经过长时间研究和创造终于获得本创作。
发明内容
本实用新型的目的在于,提供一种门阀结构,用以克服上述的缺陷。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案在于,提供一种门阀结构,其包括:
一门板;
一门板轴通过至少一对连接块与所述的门板成为一转动整体,所述的门板轴与每一对所述的连接块通过一铜套转动,所述的连接块固定在一腔体内挡板上,所述的门板与一偏心轴固接,所述的偏心轴的两端的轴段穿设在每一对所述的连接块上的轴孔上;
一动力输出机构,其输出门阀转动的动力;
一扭矩转动机构,其与所述的动力机构的输出端相连接,将转动的扭矩传递给所述的门板轴;
较佳的,所述的扭矩转动机构包括:
一对摆杆;
每一所述的摆杆一端通过一内胀套连轴器与一磁流体密封轴的一端相连接,所述的磁流体密封轴的另一端,通过一外胀轴连轴器与所述的门板轴连接在一起,所述的门板轴与所述的磁流体密封轴之间安置有轴间连接块,用以传递扭矩;
较佳的,所述的动力输出机构为一对旋转气缸,其分别位于所述的门板轴的两侧,每一所述的旋转气缸的活塞杆分别与所述的摆杆的另一端相固接;
较佳的,还包括:控制单元,其控制所述的旋转气缸的控制电磁阀动作,控制所述的旋转气缸活塞杆的伸缩;
较佳的,所述的控制单元为PLC控制器。
与现有技术比较本实用新型的有益效果在于,通过PLC自动控制门阀在有玻璃进出时能快速开合,畅通无阻,为整条镀膜线的生产能力奠定了基础;同时保证腔体玻璃进出口处密封性,维持腔体本身真空度,最后门阀稳定可靠、能承受长期频繁开合,保证整条线长期的产量。同时其结构紧凑、便于调整、转动快捷灵活、密封良好以及运转寿命长。
附图说明
图1为本实用新型门阀的主视结构图;
图2为本实用新型门阀的侧视结构图;
图3A为本实用新型门阀中连接块的主视剖面图;
图3B为本实用新型门阀中连接块的侧视剖面图。
附图标记说明:门板-1;门板轴-21;连接块-22;凹槽-221;轴孔-222;腔体内挡板-23;偏心轴-24;铜套-25;旋转气缸-31;活塞杆-311;内胀套连轴器-32;磁流体密封轴-33;外胀轴连轴器-34;轴间连接块-35;摆杆-41。
具体实施方式
以下结合附图,对本新型上述的和另外的技术特征和优点作更详细的说明。
请参阅图1和图2所示,其分别为本实用新型门阀的主视结构图和本实用新型门阀的侧视结构图,所述的门阀其包括:
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