[实用新型]微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片

权利要求书

1.一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片，适用于微机电激光扫描装置，所述微机电激光扫描装置至少包含一用以发射光束的光源、以共振左右摆动将光源发射的光束反射成为扫描光线的微机电反射镜、及一用以感光的目标物；其特征在于所述二片式fθ镜片包含：由所述微机电反射镜起算，依序由一新月形且凹面在所述微机电反射镜侧的一第一镜片，以及一新月形且凹面在微机电反射镜侧的一第二镜片所构成，其中：

所述第一镜片，具有一第一光学面及一第二光学面，是将所述微机电反射镜反射的角度与时间非线性关系的扫描光线光点转换成距离与时间为线性关系的扫描光线光点；

所述第二镜片，具有一第三光学面及一第四光学面，是将所述第一镜片的扫描光线修正聚光于所述目标物上；

藉由所述二片式fθ镜片，将所述微机电反射镜反射的扫描光线在一主掃描方向及一副扫描方向在所述目标物上成像。

2.根据权利要求1所述的微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片，其特征在于所述主扫描方向进一步满足下列条件：

-0.7<d3+d4+d5f(1)Y<0]]>

0<d5f(2)Y<0.6]]>

其中，f_(1)Y为所述第一镜片在所述主扫描方向的焦距，f_(2)Y为所述第二镜片在所述主扫描方向的焦距，d₃为θ＝0°所述第一镜片目标物侧光学面至所述第二镜片微机电反射镜侧光学面的距离，d₄为θ＝0°所述第二镜片厚度，d₅为θ＝0°所述第二镜片目标物侧光学面至所述目标物的距离。