[实用新型]对中系统无效

专利信息
申请号: 200820010466.X 申请日: 2008-01-25
公开(公告)号: CN201171042Y 公开(公告)日: 2008-12-24
发明(设计)人: 张怀东;郑春海 申请(专利权)人: 沈阳芯源微电子设备有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 代理人: 张志伟
地址: 110168辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 系统
【权利要求书】:

1、一种对中系统,其特征在于:该系统设有工作盘,工作盘上的晶片及上方的工业照相机,工业照相机连至中央控制器的输入端,中央控制器的输出端连接驱动工作盘运动的电机。

2、按照权利要求1所述的对中系统,其特征在于:工作盘采用电机皮带驱动结构。

3、按照权利要求2所述的对中系统,其特征在于:电机皮带驱动结构包括旋转部分和平移部分,旋转部分为小带轮、同步带、大带轮构成,大带轮和工作盘固定于同一个转轴上,小带轮与大带轮通过同步带连接,旋转台上的旋转轴电机输出端与小带轮连接;平移部分为带轮和同步带构成,两个带轮通过同步带连接,平动台上的平移轴电机与其中一个带轮连接;旋转台位于平动台上,旋转台与同步带固定。

4、按照权利要求1所述的对中系统,其特征在于:工作盘采用电机丝杠驱动结构。

5、按照权利要求4所述的对中系统,其特征在于:电机丝杠驱动结构包括X方向平动部分和Y方向平动部分,X方向平动部分为丝杠、螺母构成,电机输出端通过丝杠与螺母配合传动连接,螺母安装于平动台上;Y方向平动部分为丝杠、螺母构成,电机输出端通过丝杠与螺母配合传动连接,螺母安装于工作盘上。

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