[实用新型]对中系统无效
申请号: | 200820010466.X | 申请日: | 2008-01-25 |
公开(公告)号: | CN201171042Y | 公开(公告)日: | 2008-12-24 |
发明(设计)人: | 张怀东;郑春海 | 申请(专利权)人: | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人: | 张志伟 |
地址: | 110168辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 系统 | ||
1、一种对中系统,其特征在于:该系统设有工作盘,工作盘上的晶片及上方的工业照相机,工业照相机连至中央控制器的输入端,中央控制器的输出端连接驱动工作盘运动的电机。
2、按照权利要求1所述的对中系统,其特征在于:工作盘采用电机皮带驱动结构。
3、按照权利要求2所述的对中系统,其特征在于:电机皮带驱动结构包括旋转部分和平移部分,旋转部分为小带轮、同步带、大带轮构成,大带轮和工作盘固定于同一个转轴上,小带轮与大带轮通过同步带连接,旋转台上的旋转轴电机输出端与小带轮连接;平移部分为带轮和同步带构成,两个带轮通过同步带连接,平动台上的平移轴电机与其中一个带轮连接;旋转台位于平动台上,旋转台与同步带固定。
4、按照权利要求1所述的对中系统,其特征在于:工作盘采用电机丝杠驱动结构。
5、按照权利要求4所述的对中系统,其特征在于:电机丝杠驱动结构包括X方向平动部分和Y方向平动部分,X方向平动部分为丝杠、螺母构成,电机输出端通过丝杠与螺母配合传动连接,螺母安装于平动台上;Y方向平动部分为丝杠、螺母构成,电机输出端通过丝杠与螺母配合传动连接,螺母安装于工作盘上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造