[实用新型]一种小抽速无油涡旋真空泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空泵技术领域，是一种小抽速无油涡旋真空泵。

背景技术

涡旋的概念相当久远，20世纪初世界上就已经有了涡旋技术的专利。但由于当时技术水平的限制，涡旋机构制造不出来，涡旋的概念也就被淡忘了。1973年涡旋机构被重新提起并制造出第一台模型机构，使这项技术实际应用成为可能。涡旋机构的可靠性高、运行平稳、噪音极低、节省能源等潜力和巨大优势马上引起了冰箱行业的重视和迫切需求，大受行业领先者青睐，迅速被投入工业化应用。Trance、Hitachi、Copland等著名公司的涡旋压缩机技术与产品弓领了世界涡旋技术实用化的浪潮，带动了如冰箱、空调等诸多行业的技术进步和产品的更新换代。

今天涡旋技术已经应用到真空泵制造业，实现了全无油、运行更平稳、噪音更低、更加节省能源的涡旋清洁真空获得技术的实用化。人们应用涡旋概念与原理制造出了对真空应用仪器设备和环境没有污染，并且抽速、寿命、能耗等指标均优于普通油泵的单级、双级涡旋无油真空泵系列产品。

清洁的真空环境一直是科学家和企业界追求的理想真空环境。自能够创造真空环境开始，人们就试图采用不同手段达到清洁真空的效果。时至今日，清洁真空获得设备已经发展到冷凝泵、柱赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品。现在无油真空泵已经被广泛应用到下述科学研究与生产领域：①半导体行业——薄膜制备设备、半导体器件封装设备；②真空冶金行业——真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备；③科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器；④医疗设备——牙科仪器、透析机；⑤生物制品行业——材料提纯、药品制备；⑥包装行业——食品、药品、生物制品等包装设备。

涡旋真空泵与其他干式泵相比拥有其特殊优势：

1.间隙小，泄漏小，具有较高的压缩比，在较宽的压力范围内有稳定的抽速。

2.作压力范围宽，由于压缩腔内容积的变化是连续的，因而驱动力矩变化小，功率变化小。

3.结构简单紧凑，体积小，维修方便。

4.非接触式工作，振动和噪音小。

5.空气冷却，无需水冷。

由于国内对涡旋泵的研制起步晚，并且受加工工艺等因素的限制，市场上的国产涡旋泵产品只有抽速为8L/s的产品。本实用新型提出了一种小抽速的无油涡旋真空泵，其结构紧凑，体积小，极限压力低，抽速为4L/s。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种小抽速的无油涡旋真空泵，其结构紧凑，体积小，极限压力低，抽速为4L/s。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种小抽速无油涡旋真空泵，包括转子涡旋盘、定子涡旋盘、曲轴，所述转子涡旋盘和定子涡旋盘设置有相对应的涡旋型盘状结构体，所述涡旋型盘状结构体的涡旋壁高度h、渐开线基圆半径Rg、渐开线半厚展开角α、终止角φ_E是按照下列公式设定的：

Sth=nh45Rg2(-6π2+24α2+9φEπ-6φEα+4πα)]]>

式中：S_th—理论抽速；n—电机转速；h—涡旋壁高度；Rg—渐开线基圆半径；α—渐开线半厚展开角；φ_E—终止角

为使抽速为4L/s，取n＝1400；h＝28；Rg＝2.4；α＝0.811；φ_E＝39.12；