[实用新型]高纯石英管真空封结装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及石英制品加工领域，具体是一种晶体生长用高纯石英管真空封结装置。

背景技术

半导体(如碲锌镉、碲镉汞)单晶体的制备的主要方法之一是高温熔体生长。由于生长温度高、热导率低、蒸汽压高等生长条件，所用坩埚需要密闭，而且要耐高温、耐高压。高纯石英玻璃管是这种坩埚的理想材料。但是高纯石英玻璃管的软化点为1400～1500℃或更高。高质量的坩埚烧结十分困难。现有的石英管封结工艺，多是单喷枪烧结，缺乏专用装置，依靠操作者的经验进行封结，效率低下，封接的可靠性也较低。熟练技工的培养耗时长、费用高。大直径、厚壁石英玻璃管的封接更是困难重重。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种能克服上述缺陷、操作简便易于掌握、可靠性与封接效率高、还可适应于不同长度不同直径的石英管的高纯石英管真空封结装置。其技术方案为：

包括喷枪，其特征在于：喷枪有三条，增设上端敞口的箱体状支架、喷枪固定板、多根导轨、管托和托架；其中多根导轨水平贯穿固定在箱体状支架相向的两侧壁上；托架的底部套装在位于下方的导轨上，其顶部通过螺纹套筒与管托固定连接；喷枪固定板套装在多根导轨上可沿导轨滑动，其对应于导轨的位置设有定位螺钉；三条喷枪呈辐射状安装在喷枪固定板上，其喷头呈正三角形，正三角形的中心对应于欲封接石英管的轴心；固定有导轨的箱体状支架相向的两侧壁上和喷枪固定板上均设有安装石英管的通孔，通孔内镶嵌电木圈。

所述的高纯石英管真空封结装置，在喷枪固定板的通孔处、且在喷枪固定板远离喷枪的一侧设有固定石英管的固定管卡，用于控制石英管的转动。

所述的高纯石英管真空封结装置，托架的上端为螺杆，通过螺纹套筒与下方带有螺杆的管托连接，转动套筒即可调节管托的高度。

所述的高纯石英管真空封结装置，喷枪设有带孔的且紧贴喷枪固定板的固定翼，喷枪固定板对应于固定翼设有使三喷枪构成的正三角同比例缩放的一组固定孔，每组固定孔中相邻固定孔的间距为1厘米或者数厘米，以适应于不同直径的石英管封结。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点：

1、采用三个等角度辐射状安置的喷枪加热，管壁升温快而均匀，提高了封结速度和可靠性。大直径厚壁玻璃管也能进行有效的封结。

2、在安装石英管的通孔内镶嵌不同内径的电木圈，调节托架轴向位置与管托的高度，调节喷枪位置，可以实现对不同直径、不同长度的石英管的封结。

3、采用箱体状支架，并配以导轨和喷枪固定板固定喷枪等，喷枪无需人工手持，操作简便，易于掌握，降低了劳动强度。

附图说明

图1是本实用新型实施例的结构示意图；

图2是图1所示实施例的A-A剖视图。

图中：1、箱体状支架 2、导轨 3、电木圈 4、管托 5、喷枪 6、定位螺钉 7、固定孔 8、固定翼 9、真空抽气接口 10、喷枪供气管 11、橡胶塞 12、固定管卡13、喷枪固定板 14、通孔 15、螺纹套筒 16、托架

具体实施方式

在图1～2所示的实施例中：箱体状支架1上端敞口，四根导轨2通过螺栓水平贯穿固定在箱体状支架1相向的两侧壁上，且四根导轨2的横截面构成正方形；喷枪固定板13套装在四根导轨2上并可以沿着导轨滑动，其对应于位于导轨2的位置设有定位螺钉6；三条喷枪5呈辐射状安装在喷枪固定板13上，其喷头呈正三角形，正三角形的中心对应于欲封接石英管的轴心；托架16的底部套装在位于下方的两导轨2上可沿导轨2滑动，托架16的上端为螺杆，通过螺纹套筒15与下方带有螺杆的管托4连接，转动螺纹套筒15即可调节管托4的高度；固定有导轨2的箱体状支架1相向的两侧壁上和喷枪固定板13上均设有安装石英管的通孔14，通孔14内镶嵌电木圈3。在喷枪固定板13的通孔14处、且在喷枪固定板13远离喷枪5的一侧设有固定石英管的固定管卡12。喷枪5设有带孔的且紧贴喷枪固定板13的固定翼8，喷枪固定板13对应于固定翼8设有使三喷枪5构成的正三角同比例缩放的一组固定孔7，每组固定孔7中相邻固定孔7的间距为1厘米，这样可以调节三喷枪5构成的正三角的大小，以适应不同直径的石英管。