[实用新型]碳化硅合成炉气体收集装置

权利要求书

1.一种碳化硅合成炉气体收集装置，其特征在于：包括设置在碳化硅合成炉炉体两侧的挡墙，所述挡墙两端与碳化硅合成炉端墙相接构成矩形围挡，所述围挡上设置有顶盖，所述挡墙上设置有用于输送气体的管道。

2.根据权利要求1所述的碳化硅合成炉气体收集装置，其特征在于所述顶盖为由多块矩形的顶盖分部组成的平直顶盖，或由中部分界两边敞开的顶盖分部组成的拱形顶盖。

3.根据权利要求2所述的碳化硅合成炉气体收集装置，其特征在于所述顶盖分部之间采用弹性部件活动密封。

4.根据权利要求1所述的碳化硅合成炉气体收集装置，其特征在于所述碳化硅合成炉炉体两侧挡墙与碳化硅合成炉端墙之间、挡墙与地面之间、碳化硅合成炉端墙与地面之间以及管道与挡墙之间均采用密封材料固定密封。

5.根据权利要求4所述的碳化硅合成炉气体收集装置，其特征在于所述密封材料为胶凝材料。

6.根据权利要求1所述的碳化硅合成炉气体收集装置，其特征在于所述顶盖与围挡之间采用弹性部件活动密封。

7.根据权利要求3或6所述的碳化硅合成炉气体收集装置，其特征在于所述弹性部件为耐温橡胶或充水充气胶管。