[实用新型]一种等离子体加工装置无效
| 申请号： | 200820029299.3 | 申请日： | 2008-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN201250185Y | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 刘卫国;梁海锋;杭凌侠 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | C03C23/00 | 分类号： | C03C23/00 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 加工 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种等离子体加工装置，包括工作室和其内部的电容耦合等离子体发生器(10)，所述的电容耦合等离子体发生器(10)包括进气口(1)、射频接头(2)和内套(3)，其特征在于：所述的工作室为真空室(9)，所述电容耦合等离子体发生器的内套(3)外侧还依次设置有绝缘层(4)和屏蔽层(5)，内套(3)、绝缘层(4)和屏蔽层(5)以过盈配合方式连接，在屏蔽层(5)的外侧环设有环形磁铁(8)，该环形磁铁(8)通过直线移动机构(7)联接于屏蔽层(5)上。
2、如权利要求1所述的一种等离子体加工装置，其特征在于：所述内套(3)的开口端联接有内小、外大锥形的均匀器(6)。
3、如权利要求1或2所述的一种等离子体加工装置，其特征在于：所述直线移动机构(7)由屏蔽层(5)外侧设置的条状滑槽和嵌设于滑槽内的支架组成，支架与环形磁铁(8)固定联接。
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