[实用新型]连续式多晶硅提纯结晶炉

权利要求书

1、一种连续式多晶硅提纯结晶炉，其特征在于它由预热炉(8)、提纯 结晶炉(4)、电动拖车等组成，它包括推进器(1)、电动拖车(2)、升降 门(3)(5)(7)(9)、提纯结晶炉(4)、外轨道(6)、预热炉(8)、台车(10)， 推进器(1)为液压推进，位于结晶炉(4)的正前部，预热炉(8)为梭式窑 结构，炉膛顶部为拱型结构，预热炉(8)前、后设有可自由升降密封门(7) (9)，U型硅钼棒(8-1)加热元件两边垂吊，预热的坩埚(8-3)放置在台 车(10)上；提纯结晶炉(4)包括炉体、台车、升降门、加热系统、降温系 统等组成，提纯结晶炉(4)炉体为隧道式，顶部为拱型，两组U型硅钼棒(R) 加热元件两边垂吊，在结晶区两组U型硅钼棒(R)有效加热端的尺寸呈逐步 缩短排列，沿炉体长度方向分为高温静置区A、降温区B、结晶区J、冷却区 D，在结晶区J炉膛两侧采用间接隔套风冷结构，台车(10)上部设置有支撑 台面，侧部设漏液收集槽，下部设导热槽，台车(10)与提纯结晶炉(4)采 用曲封+砂封密封，台车(10)下部设有四轮，轴承为耐温轴承；电动拖车(2) 由驱动电机、减速机、链条等组成，在结晶炉(4)前后各设一套，实现外轨 道(6)上台车与结晶炉(4)内部台车的摆渡。

2、如权利要求1所述的连续式多晶硅提纯结晶炉，其特征在于预热炉 (8)的炉体用耐高温刚玉莫来石、氧化铝空心球等耐火材料砌成，提纯结晶 炉(4)的用耐高温刚玉莫来石、氧化铝空心球等耐火材料砌成。

3、如权利要求1所述的连续式多晶硅提纯结晶炉，其特征在于：结晶 区J炉膛两侧采用间接隔套风冷结构，其下部设有冷风进口a，顶侧部设有 热气出口b。