[实用新型]烧结式小体积水密压力传感器有效
申请号: | 200820031016.9 | 申请日: | 2008-01-22 |
公开(公告)号: | CN201149534Y | 公开(公告)日: | 2008-11-12 |
发明(设计)人: | 佘德群;周强 | 申请(专利权)人: | 南京高华科技有限公司 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00;G01S7/52 |
代理公司: | 南京君陶专利商标代理有限公司 | 代理人: | 沈根水 |
地址: | 21028*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 烧结 体积 水密 压力传感器 | ||
【权利要求书】:
1、烧结式小体积水密压力传感器,其特征是硅压力敏感芯片粘贴在前端316L不锈钢烧结底座上,防护罩和316L膜片及316L不锈钢烧结底座焊接,316L不锈钢烧结底座内部灌充硅油,温度补偿电路安装在316L不锈钢烧结底座的引脚上,信号微处理电路和前端316L不锈钢烧结底座的引脚相连,信号输出烧结底座从信号微处理电路引出,壳体和316L不锈钢烧结底座焊接,壳体再和信号输出烧结底座焊接。
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