[实用新型]太阳能电池扩散设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能电池加工技术领域，特别是一种太阳能电池扩散设备。

背景技术

抽气排风压力是太阳能电池扩散工艺中一个很重要的参数，进入扩散反应腔的气体和化学品由气体流量控制器控制，因此是稳定的。但是排风是由厂务直接控制的，抽气排风压力就是厂务排风的压强，由于厂务排风连接多个机台，所以排风压力不是稳定的。一般控制的压强范围是1.5-5mbar。由于抽气排风压力波动导致磷在硅片注入的浓度发生变化，因为方块电阻跟磷的搀杂浓度有关。方块电阻就会在49.5-54ohm的区间里相应变化。在后道烧结工序中每一个特定的方块电阻都有一个最佳的温度曲线与之匹配使之达到最大的电池效率。方块电阻的波动导致效率下降大约5％。

实用新型内容

为了克服现有设备生产出来的硅片的方块电阻会产生波动的缺陷，本实用新型提供一种通过提供稳定抽气排风压力来稳定生产出来的硅片的方块电阻的太阳能电池扩散设备。

本实用新型所采用的技术方案是：一种太阳能电池扩散设备，包括扩散炉和机台排风端，扩散炉内产生的废气通过管道从机台排风端排出，机台排风端安装排风压力控制阀和相应的排风压力控制器。

本实用新型的有益效果是：抽气排风压力稳定后，磷在硅片中的注入浓度稳定后，方块电阻也随之稳定，可以提升最终太阳能电池的效率5％。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：1.扩散炉，2.机台排风端，3.排风压力控制阀，4.排风压力控制器，5.扩充管，6.浓缩瓶。

具体实施方式

如图1所示的一种太阳能电池扩散设备，包括扩散炉1和机台排风端2，从扩散炉1中排除的气体经过扩充管5(expansion essel)和浓缩瓶6(congdensation bottle)后从机台排风端2排除，机台排风端2安装排风压力控制阀3和相应的排风压力控制器4，通过排风压力控制器4控制排风压力控制阀3使抽气排风压力这个参数保持稳定。进入扩散炉1的气体由气体流量控制器控制，流量稳定。气体和POCL3在扩散炉1中和硅片发生反应，抽气排风压力稳定后，磷在硅片中的注入浓度也会稳定，方块电阻也随之稳定，可以提升太阳能电池的效率5％。