[实用新型]新型多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种生产多晶硅的还原炉，尤其是涉及一种新型多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜。属多晶硅制备技术领域。

背景技术

多晶硅是生产单晶硅的直接材料。高纯度多晶硅是光电转换电池、集成电路等半导体器件的基础材料。随着世界半导体工业的迅猛发展、超大规格集成电路的大量应用、光伏电池的大量需求，整个世界对多晶硅的需求量在大幅增加。

生产多晶硅的方法有多种，氢还原法是最常见的一种方法。该方法是把提纯的硅卤化物和净化好的氢气作为原料通入还原炉，在高温环境中，硅卤化物与氢气发生化学反应，生成多晶硅，并沉积在发热体(小直径的硅棒)上。化学反应继续进行，沉积在发热体上的多晶硅越来越多，硅棒渐渐变粗，最后生成了有效高度约为2.8m、直径约为150mm的多晶硅硅棒。

多晶硅还原炉是多晶硅硅棒的最终生成设备，在硅卤化物被氢气还原生成多晶硅硅棒的过程中，会放出大量的热，还原炉内的工作温度超过1000℃，还原炉的冷却直接关系还原炉的安全使用和还原炉的使用寿命。

多晶硅还原炉，国内已有相关研究，下面分别予以说明。

专利号ZL 200420060144.8也公开了一种多晶硅氢还原炉，该还原炉包括带有冷却水腔的封头和炉体，底盘，底盘下的进气管和排气管，底盘上的电极，所述电极为12对、即24个电极，且在底盘上沿两个圆周均布设置；所述进气管主要由一个水平环管和9个喷嘴连通构成，其中8个喷嘴位于两圈电极之间、且沿同一圆周均布设置在底盘上，一个喷嘴设置在底盘中心位置。8对电极中设置在外圆周上，其余4对电极设置在内圆周上。电极中，正、负电极在底盘上逐一间隔设置。底盘是水冷式结构，其上设置冷却水进口和出口。炉体上设置有双层玻璃结构的视窗。封头顶部设置有连接法兰。该专利的主要不足之处在于视镜未采用水冷结构，不能保证在还原炉内超过1000℃高温条件下长期稳定使用。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种带有水冷结构的新型多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜。

本实用新型的目的是这样实现的：一种新型多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜，包括内筒、外筒、法兰III、法兰II、法兰I、内层玻璃、外层玻璃、冷却水进口I、冷却水进口II、冷却水出口II和冷却水出口I，所述内筒与外筒同轴设置，内筒插置在法兰III内孔内，外筒设置在法兰III内端，法兰II和法兰I依次叠层布置在法兰III外侧，内层玻璃设置在法兰III与法兰II之间，外层玻璃设置在法兰II与法兰I之间，内层玻璃、外层玻璃和法兰II之间围成一封闭容腔，法兰II上设置有冷却水进口II和冷却水出口II，外筒上设置有冷却水进口I和冷却水出口I。冷却水对外层玻璃、内层玻璃、内筒、外筒进行冷却。

与现有多晶硅还原炉用视镜相比，本实用新型能保证视镜的长期、可靠工作，以实现还原炉的长期、安全、高效的运行。

附图说明

图1为本实用新型新型多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜结构示意图。

图中：冷却水进口I 1、冷却水进口II 2、螺栓3、螺母4、外层玻璃5、内层玻璃6、法兰I 7、法兰II 8、冷却水出口II 9、法兰III 10、冷却水出口I 11、内筒12、外筒13。

具体实施方式

参见图1，新型多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜主要由内筒12、外筒13、法兰III 10、法兰II 8、法兰I 7、内层玻璃6、外层玻璃5、冷却水进口I 2、冷却水进口II 1、冷却水出口II 9和冷却水出口I 11组成。所述内筒12与外筒13同轴设置，内筒12插置在法兰III 10内孔内，外筒13设置在法兰III 10内端，法兰II 8和法兰I 7依次叠层布置在法兰III 10外侧，并用螺栓3和螺母4固定。内层玻璃6设置在法兰III 10与法兰II 8之间。外层玻璃5设置在法兰II 8与法兰I 7之间。内层玻璃6、外层玻璃5和法兰II 8之间围成一封闭容腔。法兰II 8上设置有冷却水进口II 2和冷却水出口II 9。外筒12上设置有冷却水进口I 1和冷却水出口I 11。一路冷却水从冷却水进口II 2进入、流过外层玻璃5与内层玻璃6之间的间隙，对外层玻璃5与内层玻璃6进行冷却，从冷却水出口II 9排出。另一路冷却水从冷却水进口I 1进入，对内筒12、外筒13进行冷却，从冷却水出口I 11排出。