[实用新型]光罩夹

说明书

技术领域

本实用新型属于光刻设备制造领域，特别涉及一种适于在狭小空间内移除光罩的光罩夹。

背景技术

在集成电路制造中，利用光学-化学反应原理和化学、物理蚀刻的方法，将光罩上的电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形，因此保护光罩的安全、防止光罩刮伤对于晶圆生产来说非常重要。

现有技术中用于转移光罩的光罩夹(如附图3所示)，这种光罩夹可用于交换光罩和光罩室转移，然而由于它手柄部分过长，因此光罩夹的重心落在手柄部分上，操作人员在握持光罩夹的时候不容易掌握重心，光罩容易脱落或损坏；另外，当机台发生异常时，该光罩夹的手柄过长，无法伸入狭窄的机台内取出光罩，还需要操作员手工取出光罩。

发明内容

本实用新型所要解决的问题是光罩夹体积过大、与光罩重心不重合，并提供一种体积小、便于操作的光罩夹。

本实用新型所采用的技术方案是：一种光罩夹，它包括铰接在一起的一对夹臂组件，所述的夹臂组件的一端部具有夹爪，所述的夹臂组件的另一端部具有握持部，所述的一对夹臂组件的铰接处位于所述的握持部上，并且所述的握持部位于所述的光罩夹的中部。

进一步地说，本技术方案还包括：所述的夹爪上具有开口，并且所述的一对夹臂组件上的夹爪的开口相对。

所述的夹爪上具有缓冲条，所述的缓冲条至少有部分位于所述的开口内。

所述的握持部的长度为50mm～100mm，优选80mm～90mm，这样可以尽可能的缩小光罩夹的体积，更适于在窄小的机器内移动。

所述的夹臂组件包括握持部、自所述的握持部弯折的肩部、自所述的肩部向远离所述的握持部的方向延伸的臂部以及与所述的臂部相连的夹持部，所述的一对夹臂组件的臂部相对，并且所述的其中一个夹臂组件的臂部上还设置有防护杆，所述的另外一个夹臂组件的臂部上开设有可供所述的防护杆的一端部自由滑动的滑槽。所述的防护杆和所述的滑槽分别位于所述的一对夹臂组件的臂部的中央。

所述的夹持部自所述的臂部弯折形成并沿垂直于所述的臂部的方向延伸，所述的一对夹臂组件上的夹持部相互平行，所述的夹爪固定设置在所述的夹持部上。

所述的夹臂组件包括夹杆，其中一个夹臂组件的夹杆上固定连接有连接柄，另一个夹臂组件上的夹杆上固定连接有活动柄。

本实用新型的优点是：本实用新型的握持部位于光罩夹的中部，利于控制重心和夹紧力量，避免光罩脱落或损坏；缩短握持部的长度，使本实用新型利于在机台的狭小空间内取放光罩；另外，在夹爪与握持部之间设置一个防止手触摸到光罩图形区域的防护杆，可更好地保护光罩。

附图说明

附图1为本实用新型的主视图；

附图2为附图1中沿A-A的剖视图；

附图3为现有技术中的光罩夹；

其中：1、夹臂组件；2、握持部；3、臂部；4、滑槽；5、活动柄；6、连接柄；7、防护杆；8、夹杆；9、肩部；10、收容槽；11、夹爪；12、开口；13、缓冲条；14、夹持部。

具体实施方式

参见附图1和附图2所示，一种U形光罩夹，它包括铰接在一起的一对夹臂组件1。所述的夹臂组件1包括握持部2、自所述的握持部2弯折的肩部9、自所述的肩部9向远离所述的握持部2的方向延伸的臂部3以及与所述的臂部3相连的夹持部14，所述的一对夹臂组件1的臂部3平行相对，所述的夹持部2自所述的臂部3弯折形成并沿垂直于所述的臂部3的方向延伸，所述的一对夹臂组件1上的夹持部2相互平行，夹持部14上可拆卸地连接有用于夹取光罩的夹爪11。所述的夹爪11上具有开口12，并且所述的一对夹臂组件1上的夹爪11的开口12相对，以利于取放光罩。

为防止取放光罩时，人手会触碰到光罩，所述的光罩夹上还设计有一个防护杆7。所述的其中一个夹臂组件1的臂部3上还设置有防护杆7，所述的另外一个夹臂组件1的臂部3上开设有可供所述的防护杆7的一端部自由滑动的滑槽4，所述的防护杆7和所述的滑槽4分别位于所述的臂部3的中部。因此所述的光罩夹打开或闭合时，防护杆7可以在滑槽4中自由活动，保证防护杆7始终挡在人手和光罩之间。