[实用新型]晶圆全自动传输装置

权利要求书

1.一种晶圆全自动传输装置，包括设置在旋转轴(1)上的转盘(2)，转盘(2)上设有支架(3)，其特征是：在支架(3)上横向架设若干根滑轨(4)，在滑轨(4)上滑动连接取片钳(5)，在取片钳(5)下方设有升降板(6)及其升降驱动装置，升降板(6)和固定设置的导杆(7)滑动连接，在升降板(6)上转动连接有检测转轴(8)，检测转轴(8)的顶端部设有吸盘装置(9)，检测转轴(8)与其转动驱动装置相连。

2.如权利要求1所述的晶圆全自动传输装置，其特征是：吸盘装置(9)上表面设有若干负压气槽(10)，在负压气槽(10)内设有与负压气槽(10)连通的负压气孔(11)，在旋转轴(1)底端部设有负压气管接头(12)，所述的负压气管接头(12)与负压气孔(11)连通。

3.如权利要求2所述的晶圆全自动传输装置，其特征是：所述负压气槽(10)为吸盘装置(9)上表面开设的同心圆槽体。

4.如权利要求1所述的晶圆全自动传输装置，其特征是：取片钳(5)在滑轨(4)设有若干个，它们呈层叠状设置在同一竖直平面内。

5.如权利要求4所述的晶圆全自动传输装置，其特征是：取片钳(5)的下端固定设有与滑轨(4)滑动连接的滑块(13)，在滑块(13)的侧边设有伸出的夹片(14)，所述的夹片(14)装夹在驱动带(15)上，在取片钳(5)后端部设有负压接头(16)，在取片钳(5)的钳体部位开设有与负压接头(16)连通的负压孔(17)。

6.如权利要求1所述的晶圆全自动传输装置，其特征是：升降板(6)的升降驱动装置为设置在转盘(2)与支架(3)之间的丝杆(18)，在丝杆(18)的两侧各设一根导杆(7)。