[实用新型]一种新型磁路结构考夫曼型离子源

权利要求书

1、一种新型磁路结构考夫曼型离子源，其结构组成包括由阳极管(21)、阴极丝(24)、加速栅(10)和屏栅(9)构成离子源放电室，以及用于中和离子束中正电荷的中和灯丝；其特征是设置单筒状阳极管(21)，所述单筒状阳极管(21)固定设置在位于在离子源放电室底部的基底法兰(26)上，阴极丝(24)位于阳极管内部，用于产生多极磁场的磁路由阳极管(21)外周分段设置、且同名端相向的各环形磁铁和分别设置在环形磁铁顶部、底部以及隔间设置在各段环形磁铁之间的磁靴组件构成。

2、根据权利要求1所述的新型磁路结构考夫曼型离子源，其特征是所述磁靴组件设置为由导磁隔板(33)和连接在导磁隔板(33)外周磁靴外圈(34)构成横置的“工”字形结构，其中，与阳极管(21)接触的导磁隔板(33)为导磁不导电材质，外磁靴外圈(34)为不导磁材质。

3、根据权利要求1所述的新型磁路结构考夫曼型离子源，其特征是在所述阳极管(21)的顶部设置顶端法兰(5)，所述顶端法兰(5)与基底法兰(26)之间是以长螺栓(2)连接构成离子源放电室支架，位于阳极管(21)上方的加速栅(10)和屏栅(9)分别设置在顶端法兰(5)上。

4、根据权利要求1所述的新型磁路结构考夫曼型离子源，其特征是在所述基底法兰(26)的外周设置屏蔽罩(32)，中和灯丝(13)固定设置在屏蔽罩(32)的顶端。

5、根据权利要求1所述的新型磁路结构考夫曼型离子源，其特征是在所述离子源放电室的外侧设置水冷套筒(4)。

6、根据权利要求5所述的新型磁路结构考夫曼型离子源，其特征是在所述顶端法兰(5)的下表面设置有圆环形凹槽，冷却水套筒(4)嵌装于圆环形凹槽中，与冷却水套筒(4)贯通的冷却水的进水管(27)和出水管(31)穿过基底法兰(26)而设置。