[实用新型]电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置

权利要求书

1、一种电感耦合线圈，其特征在于：由两组相同结构、形状和尺寸的平面栅形线圈(1)组成，其中，每组平面栅形线圈(1)由一根铜管(2)在平面上按“U”形波浪路径折制成栅形结构，栅形结构的折弯处(3)为半圆或圆弧过渡，栅形结构的直段(4)相互平行；铜管(2)内设有陶瓷绝缘内套管(5)，陶瓷绝缘内套管(5)的内腔作为冷却水通道，铜管(2)外设有陶瓷绝缘外套管(6)；

两组平面栅形线圈(1)以平行于所述直段(4)的轴线为基准在同一平面内左右对称布置，其中，一组平面栅形线圈(1)的一端与另一组平面栅形线圈(1)对称的一端并联后作为电感耦合线圈的第一端(7)，而一组平面栅形线圈(1)的另一端与另一组平面栅形线圈(1)对称的另一端并联后作为电感耦合线圈的第二端(8)。

2、根据权利要求1所述的电感耦合线圈，其特征在于：所述每组平面栅形线圈(1)的铜管(2)外壁上设有镀银层(9)。

3、根据权利要求1所述的电感耦合线圈，其特征在于：所述平面栅形线圈(1)的铜管外径为0.8厘米～1.2厘米，铜管壁厚为0.08～0.12厘米，所述栅形结构栅中心距为5厘米～12厘米，栅直段长度为80厘米～100厘米。

4、根据权利要求1所述的电感耦合线圈，其特征在于：所述陶瓷绝缘内套管(5)和陶瓷绝缘外套管(6)的壁厚为0.4毫米～0.6毫米。

5、一种电感耦合等离子体装置，包括反应室(10)、工作台(11)、电感耦合线圈、电感射频匹配器(12)以及电感射频电源(13)，其特征在于：所述电感耦合线圈设在反应室(10)内，且位于工作台(11)上方；所述电感耦合线圈由两组相同结构、形状和尺寸的平面栅形线圈(1)组成，其中，每组平面栅形线圈(1)由一根铜管(2)在平面上按“U”形波浪路径折制成栅形结构，栅形结构的折弯处(3)为半圆或圆弧过渡，栅形结构的直段(4)相互平行；铜管(2)内设有陶瓷绝缘内套管(5)，陶瓷绝缘内套管(5)的内腔作为冷却水通道，铜管(2)外设有陶瓷绝缘外套管(6)；

两组平面栅形线圈(1)以平行于所述直段(4)的轴线为基准在同一平面内左右对称布置，其中，一组平面栅形线圈(1)的一端与另一组平面栅形线圈(1)对称的一端并联后作为电感耦合线圈的第一端(7)接电感射频匹配器(12)的射频输出端，而一组平面栅形线圈(1)的另一端与另一组平面栅形线圈(1)对称的另一端并联后作为电感耦合线圈的第二端(8)接电感射频匹配器(12)的接地端，电感射频匹配器(12)与电感射频电源(13)连接。

6、根据权利要求5所述的电感耦合等离子体装置，其特征在于：所述工作台(11)上设有等离子体接收基板电极(14)，对应基板电极(14)设有基板射频匹配器(15)和基板偏置电源(16)，基板电极(14)与基板射频匹配器(15)的射频输出端连接，基板射频匹配器(15)与基板偏置电源连接(16)。

7、根据权利要求5所述的电感耦合线圈，其特征在于：所述每组平面栅形线圈(1)的铜管(2)外壁上设有镀银层(9)。

8、根据权利要求5所述的电感耦合线圈，其特征在于：所述平面栅形线圈(1)的铜管外径为0.8厘米～1.2厘米，铜管壁厚为0.08～0.12厘米，所述栅形结构栅中心距为5厘米～12厘米，栅直段长度为80厘米～100厘米。

9、根据权利要求5所述的电感耦合线圈，其特征在于：所述陶瓷绝缘内套管(5)和陶瓷绝缘外套管(6)的壁厚为0.4毫米～0.6毫米。