[实用新型]多生产线微蚀药液集中供给装置有效
申请号: | 200820047175.8 | 申请日: | 2008-04-30 |
公开(公告)号: | CN201186953Y | 公开(公告)日: | 2009-01-28 |
发明(设计)人: | 李志东 | 申请(专利权)人: | 深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司 |
主分类号: | C23G3/00 | 分类号: | C23G3/00 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人: | 曾旻辉;赵磊 |
地址: | 518054广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 生产线 药液 集中 供给 装置 | ||
1、一种多生产线微蚀药液集中供给装置,其特征在于:它包括配药槽、储药槽、中转槽、配药泵、输送泵、加药泵以及分别连通各生产线微蚀槽的控制阀,其中配药泵入口管道连接配药槽,出口管道连接储药槽,输送泵入口管道连接储药槽,出口管道连接中转槽,加药泵入口管道连接中转槽,出口管道连接各控制阀。
2、根据权利要求1所述的多生产线微蚀药液集中供给装置,其特征在于:所述中转槽内设有液位传感控制器,用于检测液位并输出信号至所述输送泵。
3、根据权利要求2所述的多生产线微蚀药液集中供给装置,其特征在于:所述储药槽内设有液位传感器,用于检测液位并输出信号至所述配药泵。
4、根据权利要求3所述的多生产线微蚀药液集中供给装置,其特征在于:所述配药槽内设有用于检测液位的液位计。
5、根据权利要求1、2、3或4所述的多生产线微蚀药液集中供给装置,其特征在于:所述配药槽内设有搅拌装置。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司,未经深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200820047175.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。