[实用新型]显影制程设备无效
| 申请号： | 200820047228.6 | 申请日： | 2008-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN201311548Y | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 叶奕志;刘耀隆 | 申请（专利权）人： | 深超光电(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所 | 代理人： | 侯来旺 |
| 地址： | 518109广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显影 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种显影制程设备，包含：一工作腔、一中间贮槽；一显影液循环系统，具有一连接管路，连接该工作腔与该中间贮槽；及一喷嘴，配置于该工作腔内；其特征在于该工作腔内装设一显影液承接组，对应于该喷嘴，藉以承接该喷嘴流出之液体。
2.根据权利要求1所述之显影制程设备，其中，该显影液循环系统，包含一主体管路。
3.根据权利要求2所述之显影制程设备，其中，该显影液循环系统，包含一第一支管，连接该主体管路与该喷嘴。
4.根据权利要求2所述之显影制程设备，其中，该显影液循环系统，包含一显影液泵，连接该主体管路。
5.根据权利要求4所述之显影制程设备，其中，该显影液循环系统，包含一第二支管，连接该显影液泵与该中间贮槽。
6.根据权利要求1所述之显影制程设备，其中，该显影液承接组，包含一显影液承接器，对应于该喷嘴。
7.根据权利要求6所述之显影制程设备，其中，该显影液承接组，包含一显影液输送管，连接该显影液承接器，并贯穿该工作腔与该中间贮槽。
8.根据权利要求7所述之显影制程设备，其中，该显影液输送管，系为一软性输送管。
9.根据权利要求6所述之显影制程设备，其中，该显影液承接组，包含一支架，连接该显影液承接器。
10.根据权利要求9所述之显影制程设备，其中，该显影液承接组，包含一作动马达，连接该支架。
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