[实用新型]可调式反射罩无效
申请号: | 200820051963.4 | 申请日: | 2008-08-08 |
公开(公告)号: | CN201247339Y | 公开(公告)日: | 2009-05-27 |
发明(设计)人: | 邵建国 | 申请(专利权)人: | 志圣科技(广州)有限公司 |
主分类号: | G02B7/182 | 分类号: | G02B7/182;G03B27/16;G03B27/70;G03F7/20 |
代理公司: | 广州市南锋专利事务所有限公司 | 代理人: | 李永庆 |
地址: | 510850广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调式 反射 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种曝光机中的反射罩,尤其是一种能够调节反射罩内的反射面的倾斜角度的可调式反射罩。
背景技术
目前,在曝光机设备中所用的反射罩的反射面的位置是固定不变的,故在使用的过程中,会出现曝光不均匀的现象,从而大大降低了曝光机设备的工作质量。
发明内容
为了克服上述之不足,本实用新型的目的在于提供一种能调节反射罩内的反射面的倾斜角度以提升曝光的均匀度的可调式反射罩。
为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案是:可调式反射罩包括反射罩、反射板、间距调节器,在反射罩的内壁上设有反射板,反射板与反射罩之间设有间距调节器。通过间距调节器来调节反射板与反射罩的内壁之间的间距,从而来调整反射板的倾斜角度,以提升曝光的均匀度。
在反射罩的前后内壁上,反射板的上部与内壁之间的间距为8—10mm。
在反射罩的左右内壁上,反射板的上部与内壁之间的间距为13—15mm。
反射板是一个镜面铝板。
本实用新型的有益效果在于:通过间距调节器来调节反射板与反射罩的内壁之间的间距,从而来调整反射板的倾斜角度,以提升曝光的均匀度。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明:
图1为本实用新型的结构示图。
图中:1、反射罩,2、反射板;3、调节螺丝;4、定位螺母。
具体实施方式
如图1所示,一种可调式反射罩,它包括反射罩1、反射板2、间距调节器,间距调节器由调节螺丝3和定位螺母4组成,在反射罩1的内壁上设有反射板2,反射板2与反射罩1之间通过调节螺丝3连接,位于调节螺丝3上的定位螺母4紧压反射板2。反射板2采用镜面铝板。
在反射罩1的前后内壁上,反射板2的上部与内壁之间的间距为9mm。
在反射罩1的左右内壁上,反射板2的上部与内壁之间的间距为14mm。
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