[实用新型]柔性高阻多层透明导电膜

说明书

技术领域

本实用新型涉及柔性基材高阻多层透明导电膜，它用于触摸屏(TP)、手写输入(PE)、电致发光显示(EL)、液晶显示(LCD)、有机发光显示(OLED)等。

背景技术

现有的柔性透明导电膜，表面电阻在200Ω/□左右，是比较稳定的。但随着表面电阻升高，特别是到了450-500Ω/□或更高阻值以后，则电阻值变得很不稳定，耐久性(能承受的点击次数)也很差，并且在随后的使用过程中出现翘曲等现象。实用新型专利CN1947204A提出了一个叠层结构和控制ITO膜的结晶及结晶粒度、结晶比例等技术，使表面电阻为200-300Ω/□的ITO膜稳定性、耐久性得到明显改善；但其有几点不足：一是ITO膜成膜后要在150℃处理1.5小时，这显然会影响生产效率、提高生产成本；二是介质层二氧化硅(SiO₂)采用涂布和电子枪蒸发与ITO膜成膜技术不兼容，使工艺过程变的很繁杂，导致成品率低、成本提高；三是它的叠层体一侧没有防潮防湿层，在使用过程中受高温潮湿影响，使该侧吸潮吸湿，导致两层PET聚酯膜由于收缩率的差异而产生翘曲，影响后续生产过程的进行；并且，从膜系组成分析，透光率也不可能做得很高。日本专利HZ-194943A提出了一个改良方法，即在ITO成膜后再长时间热处理使其结晶化，改善其稳定性，具体是在150℃热处理24小时，显然该方法效率低下、成本极高。美国专利US2003/0012955A1则提出在ITO膜表面覆盖一层介质层，如SiOx或TiOx、TaOx、NbOx、SnOx等介质，其结果是表面接触电阻增大，对刻蚀也会带来麻烦。美国专利US2006/003188A1提出用含二氧化锡(SnO₂)小于6％的铟锡氧化物(ITO)靶材在90℃-170℃溅射成膜，使ITO膜形成结晶结构，改善其性能；存在的缺点是要在较高温度下成膜，成膜过程要用PEM(plasma emission)或PIC(plasma impedance control)监控。

实用新型内容

本实用新型的目的是，针对现有技术产品存在的ITO高阻膜电阻不稳定、耐久性差等问题，研制一种柔性高阻多层透明导电膜，使其在较高温度(150℃)时具有良好的电阻稳定性和耐久性，并且产品的生产工艺流程短、生产效率高、成本低，在随后的工艺过程中不产生翘曲。

本实用新型的技术方案是，所述柔性高阻多层透明导电膜的结构为：它有柔性基材PET聚酯膜，其结构特点是，在该PET聚酯膜的一面由内至外依次设有作为增透和隔离层的二氧化钛(TiO₂)层、二氧化硅(SiO₂)层，导电透明结晶态铟锡氧化物(ITO)层和顶层，所述顶层为锌铝氧化物(ZAO)层或锌镓氧化物(ZGO)层；所述PET聚酯膜的另一面经粘结层与第二层柔性基材PET聚酯膜的一面相粘接，该第二层PET聚酯膜的另一面由内至外依次设有硬涂层和作为增透与防潮湿层的二氧化钛(TiO₂)层、二氧化硅(SiO₂)层。

以下对本实用新型做出进一步说明。

参见图1，本实用新型的柔性高阻多层透明导电膜的结构为：它有柔性基材PET聚酯膜1，其结构特点是，在该PET聚酯膜1的一面由内至外依次设有作为增透和隔离层的二氧化钛(TiO₂)层2、二氧化硅(SiO₂)层3，透明导电结晶态铟锡氧化物(ITO)层4和顶层5，所述顶层5为锌铝氧化物(ZAO)层或锌镓氧化物(ZGO)层；所述PET聚酯膜1的另一面经粘结层6与第二层柔性基材PET聚酯膜7的一面相粘接，该第二层PET聚酯膜7的另一面由内至外依次设有硬涂层8和作为增透与防潮湿层的二氧化钛(TiO₂)层9、二氧化硅(SiO₂)层10。