[实用新型]光刻机投影物镜偶像差原位检测系统

权利要求书

1、一种光刻机投影物镜偶像差原位检测系统，包括产生照明光束的光源(1)，用于调整所述光源(1)发出的光束的束腰尺寸、光强分布和部分相干因子和照明方式的照明系统(2)，能承载测试掩模(3)并精确定位的掩模台(4)，能将掩模图形成像且其数值孔径可调的投影物镜(5)，能精确定位的工件台(6)，安装在工件台(6)上的测量测试掩模(3)上的图形成像位置的像传感装置(7)，其特征在于所述测试掩模(3)由0°方向偶像差测量标记(31)、45°方向偶像差测量标记(32)、90°方向偶像差测量标记(33)和135°方向偶像差测量标记(34)组成，所述的0°方向偶像差测量标记(31)、45°方向偶像差测量标记(32)、90°方向偶像差测量标记(33)和135°方向偶像差测量标记(34)的移相光栅标记，所述像传感装置(7)由依次相连的孔径光阑(71)、成像物镜(72)、光电探测器(73)、数据采集卡(74)和计算机(75)组成。

2、根据权利要求1所述的光刻机投影物镜偶像差原位检测系统，其特征在于所述的移相光栅标记为交替型移相光栅标记，或衰减型移相光栅标记，或无铬移相光栅标记。

3、根据权利要求1所述的光刻机投影物镜偶像差原位检测系统，其特征在于所述的光电探测器(73)是CCD，或光电二极管阵列。