[实用新型]挥发酸吸收器

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体领域的废水处理装置，具体地说，涉及废水处理装置使用的一种挥发性酸吸收器。

背景技术

在半导体制造领域，蚀刻、清洗、抛光等制程都会产生大量的废水。废水中常常存在化学性挥发性物质，在将废水导入废水槽的过程中，部分酸性气体如盐酸、硝酸就会扩散到空气中。这些酸性气体扩散到空气中，不仅污染环境，而且很容易对工作人员的身体健康造成影响，浓度大时还会腐蚀工厂内的设备、晶圆等。

为了避免上述情况，需要提供一种挥发酸吸收器，以减少挥发到空气中的酸性气体，减少对环境的污染。由于工厂的生产成本比较高，所以每一空间都要充分利用，以降低生产成本，所以该挥发酸吸收器不能太大。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型解决的技术问题在于提供一种小型的挥发酸吸收器，以有效减少挥发到空气中的酸性气体。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种挥发酸吸收器，在向废水槽内注入废水时，所述挥发酸吸收器可以吸收废水中挥发出来的酸性气体。所述挥发酸吸收器包括壳体、注有碱性溶液且安装在壳体内的海绵体以及废水导入孔、导出孔；其中废水导入孔穿过壳体和海绵体与外界相通，以供废水注入软管插入。使用时，废水注入软管插入导入孔内，废水自挥发酸吸收器的导出孔流入废水槽内；在废水流入废水槽的过程中，废水中的酸性挥发气体挥发到壳体内，海绵体中的碱性液体与酸性挥发气体反应。

与现有技术相比，本实用新型提供的挥发酸吸收器结构简单、体积较小、制造成本低廉，既方便携带，又方便清洗；使用本发明提供的挥发酸吸收器可以有效减少挥发到空气中的酸性气体。

附图说明

图1是较佳实施例中挥发酸吸收器的截面示意图；

图2是图1所示挥发酸吸收器安装在废水槽上面时的示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型提供的挥发酸吸收器的较佳实施例作详细描述，以期进一步理解本实用新型的功效、特点等。

图1为本实施例挥发酸吸收器100的截面示意图，该挥发酸吸收器100呈柱状体，可以理解是，本实用新型不限于该形状，也可以是长方体。该挥发酸吸收器100包括壳体1、安装在壳体1底部的海绵体2以及用于固定海绵体2的固定件3。所述固定件3为一个环形件，所以海绵体2的大部分暴露在空腔6内。挥发酸吸收器100在底部设有贯穿海绵体2和固定件3，且与外界相通的导入孔

5，在顶端(开口端)还设有导出孔(未图示)。

使用前，向海绵体2内注入适量的碱性液体，如适量的苏打水(NaCO₂水溶液)。使用时，请参阅图2，将该挥发酸吸收器100的开口端放置在废水槽200的注入口201上，然后将废水的注入软管7插入上述导入孔5内。废水自挥发酸吸收器100的导出孔流入注入口201，进而排入废水槽200内。在废水流入废水槽200的过程中，废水中的酸性挥发气体挥发到空腔6内，海绵体中的苏打水与酸性挥发气体反应，避免挥发到空气中，污染环境。使用后，将注入软管7从导入孔5取出，再将挥发酸吸收器100从废水槽200的注入口201上取下。该挥发酸吸收器100两侧还设有把手4，这样，取下挥发酸吸收器100时可以握住把手4，方便工作人员操作。

从上述描述可知，本实用新型提供的挥发酸吸收器结构简单，制造成本低廉，且方便清洗。另外，本实用新型的挥发酸吸收器可以设置成与废水槽注入口大小相当，占地面积较少，方便放置和携带。