[实用新型]在线测定镀铝薄膜微涂层厚度变化测量的装置有效

专利信息
申请号: 200820055437.5 申请日: 2008-02-04
公开(公告)号: CN201259416Y 公开(公告)日: 2009-06-17
发明(设计)人: 洪晓冬;何贤干 申请(专利权)人: 上海永超真空镀铝有限公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06;G01B17/02;C23C14/14;C23C14/24
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 代理人: 胡美强
地址: 201706上海市青*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 在线 测定 镀铝 薄膜 涂层 厚度 变化 测量 装置
【权利要求书】:

1.一种在线测定镀铝薄膜微涂层厚度变化测量的装置,其特征在于包括:发射模块的发射体和接收模块的接受体;所述的接收模块的接受体通过通讯模块将模数转换后的数据输入计算机;所述的计算机将微涂层厚度的变化显示在屏幕上;所述的发射体是激光管、高亮可见光管、红外线发射管、超声波发射管;接收体是相应的电子光敏管、超声波接收管。

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