[实用新型]一种带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉，包含有炉体(1)、料台(2)、坩埚(3)、保温罩(4)、升降机构(5)和供电部件(6)及电加热器件(7)，坩埚(3)设置在料台(2)上，保温罩(4)覆盖设置在料台(2)上方坩埚(3)的外围，电加热器件(7)固定安装设置在保温罩(4)顶部上、其主体伸置在保温罩(4)内壁与坩埚(3)外围之间的间隙(8)中，供电部件(6)中包含设置有电气控制装置(9)、电极(10)和输电电缆(11)，其特征在于：

a.所述的电气控制装置(9)中包含有保温罩升降控制机构(9-1)和电加热控制机构(9-2)；

b.所述的升降机构(5)由伺服电机、丝杆、滑块及导轨构成的伺服直线运动机构(20)和一端固定设置在保温罩(4)顶部上的连动杆(13)组成，至少设置三组，同圆等间距排列安装设置在炉盖(12)上；

c.所述的电极(10)由近顶端部(14)上设置有水流进出接口(15)和内部设置有水流通道(16)、设置在炉盖(12)上的水冷式上电极(10-1)和设置在保温罩(4)顶部(22)上的水冷式下电极(10-2)构成；

d.所述的输电电缆(11)中设置在水冷式上电极(10-1)和水冷式下电极(10-2)之间的部分由内部柔性电缆线(17)、外部柔性塑胶管(18)和由柔性塑胶管(18)及柔性电缆线(17)间的内部间隙构成中间水流通道(19)的水冷式柔性电缆(11-1)充任。

2.根据权利要求1所述的带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉，其特征在于所述的炉盖(12)上设置的升降机构(5)的规格和技术指标完全相符，通过输电电缆(11)与电气控制装置(9)中的保温罩升降控制机构(9-1)电气相连。

3.根据权利要求1所述的带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉，其特征在于所述的连动杆(13)主体啮合设置在伺服直线运动机构(20)上，其下端部(21)固定设置在保温罩(4)的顶部(22)上。

4.根据权利要求1所述的带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉，其特征在于所述的水冷式上电极(10-1)及下电极(10-2)内部的水流通道(16)和水冷式柔性电缆(11-1)内的水流通道(19)互相水路相通。

5.根据权利要求1所述的带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉，其特征在于所述的水冷式上电极(10-1)固定安装设置在炉盖(12)上，通过输电电缆(11)与电加热控制机构(9-2)电气相连。

6.根据权利要求1所述的带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉，其特征在于所述的水冷式下电极(10-2)固定安装设置在保温罩(4)的顶部(22)上，与电加热器件(7)的接线端电气相连。