[实用新型]双光源准直光管无效

专利信息
申请号: 200820057069.8 申请日: 2008-04-09
公开(公告)号: CN201181361Y 公开(公告)日: 2009-01-14
发明(设计)人: 栾竹;刘立人;王利娟;刘德安 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G02B27/30 分类号: G02B27/30;G02B17/08;G01J3/00;G01J3/26
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 代理人: 张泽纯
地址: 201800上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 光源 准直光管
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及准直光源,是一种带有准直透镜、产生平行光的准直光管,光源由氦氖激光、发光二极管或者氙灯组成。可以在同一口径内,输出单独一种光源或者两种光源(其中之一为氦氖激光)组成的准直光。主要用于光学装置的精密调整和标定,特别适用于干涉光路等光程的调整。

背景技术

迈克尔逊型(或者马赫泽德型等)白光干涉仪中,需要调整两路相干光满足严格等光程条件(光程差接近毫米量级)。在先技术中,一般常用白光和宽光谱光源作为调试光源,精密调整两路的光程差,直到看到对称的彩色条纹,程差接近微米量级作为等光程的标准。这一过程中,通常首先利用相干长度长的氦氖激光,对程差粗调整。由于调整程差的范围由厘米到微米,跨度大、不确定性高,经常需要几种设备互相切换,满足不同时刻程差精度的需要。这种方式依靠技术人员的经验、多台设备、调整费时、不易操作。同时由扩束镜得到的光束发散度大,不是高质量的准直光,对于高精密光学装置的调整和标定不适用。因此需要一种同时具备多种程差调整精度、操作简单的高质量准直光管。

在先技术[1](参见“普通物理实验”,孟尔熹主编,山东大学出版社1988。迈克尔逊干涉仪的调整和使用,p296)中所描述的利用氦氖激光源作光源,与扩束镜相连,作初步调整。然后更换光谱宽的钠灯观察,进一步调整光程。最后用白光光源观察到中心对称的彩色条纹,达到干涉等光程。需要多次更换设备,而且测试光源由一般的扩束镜完成,光束的准直性不能保证。

在先技术[2](参见the Newport Resource 2004,’Spatial Filter’,p558)中所描述的激光束经过显微物镜和针孔组成的空间滤波器可以去除杂散光,提高光束质量,得到近似理想的点光源。将其位于准直镜的焦点,可以得到高度准直的平面波。这仅仅提供了一种得到高质量准直光束的方式,不能同时满足等光程调整的需要。

在先技术[3](参见U.S.Patent 6320689,semiconductor laser and optical systemhaving a collimator lens)中所描述的一种用于激光打印机的二极管准直光源,采用半导体激光器作为发射源,通过小孔和准直透镜产生平行光,经过扫描物镜投影到硒鼓。因为打印机扫描功能的需要,结构复杂,去除杂散光能量损失大。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是克服上述现有技术的不足,提供一种双光源准直光管,具有不同相干长度的多种光源,在白光干涉等光程调整中,提供多种程差调整精度和标定功能,结构简单、易于操作。

本实用新型的技术解决方案如下。

一种双光源准直光管,特点是其构成包括激光光路和发光光路,所述的激光光路依次由氦氖激光器、空间滤波器、第二快门、第三反射镜以及共用的透反镜和准直透镜组成,所述的发光光路依次由发光光源、聚焦镜、第一快门、小孔、第二反射镜和第一反射镜以及共用的透反镜和准直透镜组成,所述的小孔和空间滤波器的小孔分别位于所述的准直透镜的焦点上。

所述的发光光源为发光二极管或氙灯或汞灯。

所述的透反镜的尺寸越小越利于加工,可以尽量增加透反镜到准直镜的距离。

本实用新型的技术效果:

1、由于在发光二极管的位置上,可以采用氙灯或者汞灯替换,可以得到不同光谱宽度的准直光。由于在发光光路上采用简单的结构,因此对光源的普适性强,是这一路的优点。

2、在激光光路上,采用了空间滤波器,因此这一路光可以得到高质量的准直光。在其它波面检测仪器的监测下,可以调整为近似理想平面波。一方面作为光路调整,同时可以作为干涉仪等高精密光学仪器的标定光源。

3、总之,本实用新型装置具有不同相干长度的多种光源,在白光干涉等光程调整中,提供多种程差调整精度和标定功能,结构简单、易于操作。

附图说明

图1为本实用新型双光源准直光管的光路结构示意图

图2为各光学元件的间距示意图

图3为发光二极管光源聚焦点示意图

图4为氦氖激光管光源聚焦点示意图

具体实施方式

下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步说明,但不应以此限制本实用新型的保护范围。

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