[实用新型]大动态范围的哈特曼波前传感器无效
| 申请号： | 200820057334.2 | 申请日： | 2008-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN201212837Y | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 姜有恩;李学春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00;G01D5/26 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 动态 范围 哈特曼波前 传感器 | ||
【权利要求书】：
1、一种大动态范围的哈特曼波前传感器，包括由平面波参考源(3)、分光镜(2)、光学匹配系统(4)、波面分割阵列(5)、光电探测器阵列(6)和具有数据处理软件的计算机组成的哈特曼波前传感器，其特征是还有一平移台(7)，所述的光电探测器阵列(6)固定在该平移台(7)上，驱动该平移台(7)运动，带动所述的光强探测器阵列(6)沿其光敏面的法线方向移动。
2、根据权利要求1所述的大动态范围的哈特曼波前传感器，其特征在于所述的波面分割阵列(5)为微透镜阵列。
3、根据权利要求1所述的大动态范围的哈特曼波前传感器，其特征在于所述的光电探测器阵列(6)采用CCD探测器或CMOS探测器。
4、根据权利要求1所述的大动态范围的哈特曼波前传感器，其特征在于所述的平移台(7)是高精度、高稳定性的平移台，该平移台为手动控制或步进电机控制。
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