[实用新型]带有一次加料器的直拉单晶炉有效
| 申请号： | 200820059264.4 | 申请日： | 2008-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN201214688Y | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | 施美生;许雪松 | 申请（专利权）人： | 上海九晶电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈学雯 |
| 地址： | 201617*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带有 一次 料器 直拉单晶炉 | ||
【权利要求书】：
1、带有一次加料器的直拉单晶炉，包括一个带有加热石英坩埚的直拉单晶炉本体，其特征在于，所述直拉单晶炉本体上设置有用于添加硅料的高纯透明石英玻璃管加料器，所述加料器的最大直径处尺寸为石英坩埚直径的40％～45％，所述加料器的总高度为石英坩埚高度的2～2.5倍，加料器的壁厚度为2～5mm。
2、根据权利要求1所述的带有一次加料器的直拉单晶炉，其特征在于，所述加料器为直圆筒型加料器。
3、根据权利要求1所述的带有一次加料器的直拉单晶炉，其特征在于，所述加料器下端具有向外扩散的喇叭口，喇叭口的角度为7°±3°，喇叭口的高度为50mm。
4、根据权利要求1所述的带有一次加料器的直拉单晶炉，其特征在于，所述加料器为上端小下端大的圆锥台型，圆锥台的倾角为4°～5°。
5、根据权利要求1所述的带有一次加料器的直拉单晶炉，其特征在于，所述加料器下端具有向内收紧的收口，收口的角度为10°～15°，收口的高度为40～60mm。
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