[实用新型]大尺寸蓝宝石坩埚下降法生长炉有效
| 申请号： | 200820064321.8 | 申请日： | 2008-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN201224777Y | 公开（公告）日： | 2009-04-22 |
| 发明（设计）人： | 王国强;肖兵;周世斌;曹宗良 | 申请（专利权）人： | 成都东骏激光有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 | 代理人： | 彭立琼 |
| 地址： | 611630四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 尺寸 蓝宝石 坩埚 下降 生长 | ||
【权利要求书】：
1、一种大尺寸蓝宝石坩埚下降法生长炉，包括炉体(5)、热场(4)、真空系统(6)、保护气氛充气系统(11)，热场内腔设置的钼坩埚(7)通过坩埚下保温托(8)与坩埚杆(9)连接，坩埚杆与升降机构相连，其特征在于：钼坩埚对应的下保温托、坩埚杆设有贯通孔，通孔内设置的副升降杆(10)从坩埚杆底部穿出，并与副升降机构相连。
2、如权利要求1所述的大尺寸蓝宝石坩埚下降法生长炉，其特征在于：还包括一个气氛控制系统，所述气氛控制系统包括PID控制器、变频器、压力传感器、变送器及真空泵，压力传感器通过变送器与PID控制器相连，PID控制器输出端通过变频器与真空泵相连。
3、如权利要求1所述的大尺寸蓝宝石坩埚下降法生长炉，其特征在于：所述PID控制器输出端还与保护气氛充气系统相连。
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