[实用新型]一种五层膜结构的低辐射镀膜玻璃

说明书

技术领域

本实用新型属于一种镀膜玻璃，主要涉及一种五层膜结构的低辐射镀膜玻璃。

背景技术

低辐射镀膜玻璃是指在玻璃表面沉积一层高红外线反射材料(金属银)，使玻璃吸收太阳光光谱中的红外线和其它物体发出的红外线非常少，玻璃自身又不存储能量，因此镀膜玻璃向外辐射的红外线也非常少，称为低辐射镀膜玻璃。该玻璃用于窗户上，可有效地阻挡太阳光中的红外线进入室内，降低夏天室内温度，节约空调制冷费用，冬天可以阻挡室内物体发出的红外线被玻璃吸收，散发到室外，提高室内温度，节约取暖费用。

现在市场上已经有很多种低辐射镀膜玻璃产品，第一层膜有用氧化锡的，也有用氧化锌的，第二层膜都是银膜，也有前面加一层镍铬膜的结构，第三层都用镍铬层，第四层主要为保护膜，一般采用氧化锡或氧化锌作保护膜，虽然氧化锡或氧化锌沉积效率高、价格便宜，但其保护作用差，耐磨、耐腐蚀性能不好。

发明内容

本实用新型目的是提供一种五层膜结构的低辐射镀膜玻璃，使其具有成本低，耐磨、耐腐蚀性能好的优点。

本实用新型的目的可采用如下技术方案来实现：其具有玻璃基片，在玻璃基片表面上从底层向上依次镀有氧化锡膜层、银膜层、镍铬膜层，在镍铬膜层表面镀有一层氧化锡膜层，在氧化锡膜层表面镀有一层氮化硅膜层，从而构成五层膜结构的低辐射镀膜玻璃。

采用上述结构，即可以利用氧化锡膜沉积效率高，价格便宜的优点，又可以利用氮化硅膜结构紧密，耐磨、耐腐蚀性能好的优点。

附图说明

附图1为本实用新型的具体结构示意图。

图中：1、玻璃基片，2、氧化锡膜层，3、银膜层，4、镍铬膜层，5、氧化锡膜层，6、氮化硅膜层。

具体实施方式

结合附图，说明本实用新型的具体实施例。

如附图1所示：其具有玻璃基片1，在玻璃基片表面上从底层向上依次镀有氧化锡膜层2、银膜层3、镍铬膜层4，在镍铬膜层表面镀有一层氧化锡膜层5，在氧化锡膜层表面镀有一层氮化硅膜层6，从而构成五层膜结构的低辐射镀膜玻璃。

本实用新型是在真空环境下，通过磁控溅射在玻璃表面沉积五层膜的方法，生产一种红外线辐射率很低的镀膜玻璃。所述的低辐射镀膜玻璃是在镀膜室抽真空至1.1×10^-4Pa以下，充入工艺气体(氧气或氮气或氩气)，使镀膜室压力稳定在0.3Pa左右，将溅射源送电，靶材开始溅射，送入玻璃将靶材原子或其化合物沉积到玻璃表面。第一个镀膜室充入氧气，靶材为锡靶，将氧化锡膜沉积到玻璃表面为第一层膜，厚度20至60纳米，第二个镀膜室充入氩气，靶材为银靶，在氧化锡上面沉积第二层银膜，厚度8至20纳米；第三个镀膜室充入氩气，靶材为镍铬靶，在银膜上沉积第三层镍铬膜，厚度3至10纳米；第四个镀膜室充入氧气，靶材为锡靶，在镍铬膜上沉积第四层氧化锡膜，厚度15至30纳米；第五个镀膜室充入氮气，靶材为硅靶，在氧化锡膜上沉积第五层氮化硅膜，厚度15～30纳米。

第四层氧化锡膜和第五层氮化硅膜都起保护银膜和镍铬膜的作用，提高膜层的耐磨性能和耐氧化、耐腐蚀性能。采用该结构，即可以利用氧化锡膜沉积效率高，价格便宜的优点，又可以利用氮化硅膜结构紧密，耐磨、耐腐蚀性能好的优点。