[实用新型]光学薄膜测厚仪

权利要求书

1、一种光学薄膜测厚仪，该仪器包括有壳体，壳体开有上盖，其特征是：所述壳体内装有光源(1)、电源(2)、光纤光谱仪(3)、光纤跳线(4)、探头(5)、样品台(6)、水平调节旋钮(7)以及USB接口(8)，所述光源(1)、电源(2)、光纤光谱仪(3)分别固定在该仪器壳体内后侧的安装板上；探头(5)安装在样品台(6)上的横梁上，水平调节旋钮(7)置于样品台(6)的下方；所述光源(1)、光纤光谱仪(3)、探头(5)分别连接光纤跳线(4)；光纤光谱仪(3)通过USB接口线与USB接口(8)连接。

2、根据权利要求1所述的光学薄膜测厚仪，其特征是：所述探头(5)包括有光纤探头(9)，其下方连接有准直旋钮(10)，消色差透镜组(11)固定在准直旋钮(10)上，经调节准直旋钮(10)控制光纤探头(9)到消色差透镜组(11)的距离调节光束。

3、根据权利要求1所述的光学薄膜测厚仪，其特征是：所述消色差透镜组(11)下设有连续可调光阑(12)，经调节连续可调光阑(12)调节测量光束。

4、根据权利要求1所述的光学薄膜测厚仪，其特征是：所述样品台(6)的下方设有三个旋钮，其中一个为固定旋钮，另两个为可调旋钮，该三个旋钮位置呈直角三角形状，所述固定旋钮为直角定点，调节两个可调旋钮，调节样品台(6)的水平。

5、根据权利要求1所述的光学薄膜测厚仪，其特征是：所述光源(1)为长寿命溴钨灯光源。

6、根据权利要求1所述的光学薄膜测厚仪，其特征是：所述光纤光谱仪(3)为带USB接口的微形光纤光谱仪，波长范围350nm-1000nm，波长分辨率2nm。

7、根据权利要求1所述的光学薄膜测厚仪，其特征是：所述光纤跳线(4)为七芯“Y”形宽光谱低吸收纯石英光纤。

8、根据权利要求1所述的光学薄膜测厚仪，其特征是：所述壳体上盖为可开合的天窗，能够将光纤跳线(4)取出，外接显微镜。