[实用新型]采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像装置

权利要求书

1.一种采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像装置，所述装置包括：

入射单元(1)，用于产生准直、单色、偏振态可控的偏振光波，倾斜入射到样品表面上；

出射单元(3)，所述出射单元(3)的光轴与所述入射单元(1)的光轴用于接收来自样品(20)的反射光，并对其偏振态进行调制，并获得样品(20)的椭偏图像；

数据采集处理单元(4)，用于采集所述出射单元(3)产生的数据并进行处理；

其特征在于，所述数据采集处理单元(4)通过硬触发的方式来触发出射单元(3)获得样品(20)的椭偏图像。

2.按照权利要求1所述的椭偏成像装置，其特征在于，所述入射单元(1)具体包括：

入射臂(16)，用于承载各种元件，使其共轴布置；

准直单色光发生器(11)，与入射单元光轴共轴地安装于所述入射臂(16)上，用于产生并扩展准直的准单色光输出；

第一线性偏振器(12)，与入射单元光轴共轴地安装于所述入射臂(16)上，位于所述准直单色光发生器(11)后面，用于将探测光束变换为线性偏振光；

旋转台(13)，与入射单元光轴共轴地安装于所述入射臂(16)上，位于第一线性偏振器(12)之后的光路上，可绕入射单元光轴旋转，用于使固定在其上的元件围绕入射单元光轴旋转；

相位补偿器(14)，与入射单元光轴共轴地安装于旋转台(13)上，可随旋转台(13)共同绕入射单元光轴旋转，用于在两个互相垂直的方向上产生一个相位延迟差，从而改变偏振光的偏振态；

角度编码器(15)，与入射单元光轴共轴地安装于所述旋转台(13)上，可随旋转台(13)共同绕入射单元光轴旋转，用于记录相位补偿器(14)的方位角；

所述出射单元(3)具体包括：

出射臂(36)，用于承载各种元件，使其共轴布置；

第二线性偏振器(31)，与出射单元光轴共轴地安装于出射臂(36)上，用于将样品(20)的镜面反射光偏振态调制成线性偏振光；

成像镜头(32)，与出射单元光轴共轴地安装于出射臂(36)上，该成像镜头(32)根据成像放大率的要求，共轴安放在出射光轴上第二线性偏振器(31)之后，或放置在样品(20)与第二线性偏振器(31)之间，用于对样品进行成像；

图像传感器(33)，用于接收样品经成像镜头所成的光学实像，并将其转化为电信号；

所述数据采集处理单元(4)具体包括：

控制箱(41)，与旋转台(13)电连接，用于驱动旋转台(13)带动相位补偿器(14)进行匀速旋转；控制箱(41)与角度编码器(15)电连接，用于接收来自角度编码器(15)的位置信号；控制箱(41)与图像传感器(33)电连接，用于把角度编码器15的角度信号转化成能够触发图像传感器(33)开始进行曝光积分的脉冲信号，从而对图像传感器(33)进行硬触发控制；

数据采集器(43)，和图像传感器(33)电连接，用于把图像传感器(33)采集到的图像信号转换成电子计算机(42)能够接收的电子信号；

电子计算机(42)，用于整个系统的运动控制和数据处理；电子计算机(42)与数据采集器(43)电连接，一方面发出数据采集的控制指令，另一方面接收来自数据采集器(43)的图像数据；电子计算机(42)与控制箱进行电连接，控制系统中部件的运动，并接收来自器件的状态反馈信息。