[实用新型]一种多晶硅铸锭炉有效
申请号: | 200820080640.8 | 申请日: | 2008-05-15 |
公开(公告)号: | CN201195763Y | 公开(公告)日: | 2009-02-18 |
发明(设计)人: | 张志新;王军;李占贤 | 申请(专利权)人: | 北京京运通科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06;C01B33/021;B22D27/04 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人: | 闫立德 |
地址: | 100044北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉,主要由炉体、炉盖、气路控制仪和支架所组成,其特征在于:炉体固定在支架上,炉盖位于炉体下端,启闭炉盖的炉盖提升装置位于支架上,该炉盖提升装置的丝杆下端与炉盖轴接,炉盖上设坩埚支架,坩埚支架内设坩埚,隔热体架与坩埚支架上端扣合,隔热体架提升机构位于炉体上端面,隔热体架提升机构的丝杆下端密封穿过炉体与隔热体架上端连接,各电器元件置在炉体上端面。
2.按权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述的炉盖提升装置由驱动电机、电机轮、皮带、轴、连轴器、丝杆、软轴和底座所构成,底座与支架固定为一体,底座上设有驱动电机,驱动电机带动丝杆和两连轴器,设有驱动电机的底座中置,驱动电机通过两连轴器和软轴向两边带动另两底座上的连轴器和丝杆。
3.按权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述的隔热体架提升机构的提升电机中置,提升电机带动丝杆并通过两连轴器和软轴向两边带动另两柱板上的连轴器和丝杆。
4.按权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述的隔热体架与坩埚支架上设有隔热层。
5.按权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述的支架上设有防护板。
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