[实用新型]一种DUT散射光的分光装置有效
| 申请号： | 200820086852.7 | 申请日： | 2008-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN201207104Y | 公开（公告）日： | 2009-03-11 |
| 发明（设计）人： | 涂勤昌;刘胜利;顾海涛;王健 | 申请（专利权）人： | 聚光科技(杭州)有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/10 | 分类号： | G02B27/10;G02B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310052浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 dut 散射 分光 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种DUT散射光的分光装置，包括第一滤波膜片和第二滤波膜片，其特征在于：所述第一滤波膜片和第二滤波膜片的位置关系为：
第一滤波膜片把到达的从DUT散射的光信号(S0)分离为透射光信号(S2)和具有第一部分波长的反射光信号(S21)；
第二滤波膜片把到达的所述透射光信号(S2)分离为具有第二部分波长的反射光信号(S22)和具有第三部分波长的透射光信号(S23)。
2、根据权利要求1所述的DUT散射光的分光装置，其特征在于：所述第一滤波膜片和第二滤波膜片固定在两块基片的表面上。
3、根据权利要求1所述的DUT散射光的分光装置，其特征在于：所述第一滤波膜片和第二滤波膜片固定在具有楔角的同一基片的表面上。
4、根据权利要求1或2或3所述的DUT散射光的分光装置，其特征在于：所述光信号(S0)进入第一滤光膜片的入射角的范围为2～60°。
5、根据权利要求1或2或3所述的DUT散射光的分光装置，其特征在于：所述透射光信号(S2)进入第二滤光膜片的入射角的范围为2～60°。
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