[实用新型]腐蚀槽鼓泡装置及腐蚀槽无效
| 申请号： | 200820092369.X | 申请日： | 2008-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN201162047Y | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王友旺 | 申请（专利权）人： | 深圳深爱半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/20;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郑小粤 |
| 地址： | 518029广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 腐蚀 槽鼓泡 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种腐蚀槽鼓泡装置，其特征在于：所述鼓泡装置为一板状物，其一侧设有至少一个进气口和至少一个出气口，其内部设有一连接所述出气口和进气口的通道。
2.如权利要求1所述的腐蚀槽鼓泡装置，其特征在于：所述板状物为腐蚀槽槽体的一部分。
3.如权利要求1所述的腐蚀槽鼓泡装置，其特征在于：所述板状物上还包含至少一个提取该装置的手柄。
4.如权利要求1至3任一所述的腐蚀槽鼓泡装置，其特征在于：所述出气口均匀设置，孔径为0.75-0.9mm。
5.如权利要求1至3任一所述的腐蚀槽鼓泡装置，其特征在于：所述出气口之间的间距为7-8mm。
6.一种具有鼓泡装置的腐蚀槽，包含腐蚀槽，其特征在于：还包含有一设置在所述腐蚀槽底部的鼓泡装置，所述鼓泡装置上设有至少一个进气口和至少一个出气口，其内部设有一连接所述出气口和进气口的通道。
7.如权利要求6所述的腐蚀槽，其特征在于：所述鼓泡装置为一放置于所述腐蚀槽内的板状物。
8.如权利要求7所述的腐蚀槽，其特征在于：所述板状物上还包含至少一个提取该装置的手柄。
9.如权利要求6所述的腐蚀槽，其特征在于：所述鼓泡装置为所述腐蚀槽底壁和/或侧壁的一部分。
10.如权利要求7-9任一所述的腐蚀槽，其特征在于：所述出气口均匀设置，孔径为0.75-0.9mm。
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