[实用新型]一种碳化硅舟专用夹具

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及半导体制造工艺，尤其涉及一种用于夹取碳化硅舟的专用夹具。

【背景技术】

悬臂扩散使用的碳化硅舟在刚取出扩散炉时的温度一般很高，同时舟上放置有较多硅片，这些硅片对洁净度的要求很高。因此若要把温度很高的碳化硅舟从浆上取下，同时防止舟上的硅片被沾污，需要设计一个合适的夹具方便地将碳化硅舟从浆上取下，或从工作台面将碳化硅舟放到浆上。

目前，一般采用夹具从碳化硅舟两边的圆孔内将其夹住，该夹具在碳化硅舟的上方进行操作，可能会引起沾污，降低产品品质；还可能烫伤操作人员，安全系数低。同时由于现有夹具对碳化硅舟的夹持不够稳固，夹取过程中还可能出现掉舟的现象。

【发明内容】

本实用新型的目的是提供一种碳化硅舟专用夹具，以达到安全、防沾污的目的。

为达到上述目的，本实用新型提出以下的技术方案：

一种碳化硅舟专用夹具，包括一夹持杆，所述夹持杆侧面设有可插入碳化硅舟上凸耳的孔内的凸块；一可与所述凸块配合将所述凸耳夹在中间的固定盖扣合于夹持杆上，所述固定盖与夹持杆滑动连接。

其中，所述夹持杆一侧或两侧设有凸块。

其中，所述夹持杆侧面设有第一凸块和第二凸块，且所述第一凸块和第二凸块之间有一缺口。

优选地，所述固定盖上设置防滑纹。

优选地，所述夹持杆上设有防滑纹。

从以上技术方案可以看出，本实用新型利用夹持杆上凸出的小方块，嵌入碳化硅舟一侧的凸耳内，同时在凸出的小方块上方设有一块可滑动的固定盖，与凸出的小方块一起配合，将碳化硅舟耳朵夹在中间，安全又稳定地将碳化硅舟从浆上取下，或从工作台面将碳化硅舟放到浆上。本实用新型夹取碳化硅舟的操作过程只在舟侧面进行，而不在正上方，从而可以有效地避免沾污和烫伤，并且夹持非常稳固可以防止夹具松脱情况的发生，提高了生产的安全系统和产品品质。

【附图说明】

图1为本实用新型固定盖的结构图；

图2为本实用新型固定盖的侧视图；

图3为本实用新型夹持杆的主视图；

图4为本实用新型夹持杆的侧视图；

图5为本实用新型的结构图。

【具体实施方式】

下面结合具体的实施例对本实用新型的技术方案进行详细描述。

碳化硅舟两侧一般设有两个带孔的凸耳，本实用新型根据碳化硅舟的这一结构，在夹具上设计对应的凸出的小方块，凸出的小方块正好能嵌入碳化硅舟一侧的凸耳内；同时，在凸出的小方块上方设有一块可滑动的盖体，当盖体推到最里面时，与下面凸出的小方块一起配合，将碳化硅舟耳朵夹在中间，安全又稳定地将碳化硅舟从浆上取下，或从工作台面将碳化硅舟放到浆上。

本实用新型提供一种碳化硅舟专用夹具，如图1～图5所示，主要包括固定盖1和夹持杆2。夹持杆2侧面设有凸块，所述凸块可插入碳化硅舟上凸耳的孔中；固定盖1为一矩形盖板，扣合于夹持杆2上，固定盖1与夹持杆2可滑动连接，当凸块伸入碳化硅舟上凸耳的孔内后，将固定盖1推动将碳化硅舟，与夹持杆2上的凸块一起配合，可将碳化硅舟的凸耳夹在中间。

本实用新型夹具的方形凸块嵌入碳化硅舟一侧的凸耳里，保证夹取碳化硅舟的操作过程只在舟侧面进行，而不在正上方，从而可以有效地避免沾污和烫伤，并且夹持非常稳固可以防止夹具松脱情况的发生，提高了生产的安全系统和产品品质。

在本实用新型中，夹持杆2上的凸块是根据碳化硅舟上凸耳对应设置的，如果碳化硅舟上凸耳设有两个孔，则如图3、图4所示，夹持杆2上也对应设置第一凸块2.1、第二凸块2.2两个小凸块，且第一凸块2.1和第二凸块2.2之间有一缺口，凸块2.1、凸块2.2嵌入碳化硅舟上凸耳的孔，再与固定盖1配合将碳化硅舟夹在中间进行固定，以方便夹取。在本实用新型中，凸块可以设置在夹持杆2的一侧，也可以两侧均设置凸块。

在本实用新型优选的实施例中，固定盖1上可设置防滑纹1.1，夹持杆2上也可设置防滑纹2.3，以增大摩擦力，在使用本实用新型夹具夹取碳化硅舟时更加方便、安全。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。