[实用新型]温控腐蚀槽无效

专利信息
申请号: 200820093343.7 申请日: 2008-04-15
公开(公告)号: CN201178093Y 公开(公告)日: 2009-01-07
发明(设计)人: 钟建国;尚峰 申请(专利权)人: 深圳深爱半导体有限公司
主分类号: H01L21/311 分类号: H01L21/311;H01L21/00;C23F1/08
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人: 郑小粤
地址: 518029广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 温控 腐蚀
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种化学反应槽,具体涉及一种温控腐蚀槽。

背景技术

在化工领域,对氮氧化硅或其它物料进行腐蚀反应时需用到腐蚀槽,在对腐蚀槽内的物料进行化学反应时需要控制其反应温度,如当腐蚀槽的温度过高,无疑会使反应效果大受影响,而现有的腐蚀槽要么未设置相应的设施对其温度进行控制,要么加设有昂贵的专用温控设备,一是配置成本高,二是在该专用设备损坏之后,需整体更换,维修成本高。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种温控腐蚀槽,在腐蚀槽温度偏低时,可及时对腐蚀槽进行加热,以使其到合适温度,且该腐蚀槽的配置、维护成本低。

本实用新型是通过以下技术方案来实现的:

一种温控腐蚀槽,包括耐酸的槽体,该腐蚀槽包括有换热水管、加热装置,换热水管设于槽体的槽壁上,换热水管上设有进水口、出水口;加热装置上设有加热进水管、加热出水管;所述换热水管的进水口、出水口分别与加热出水管、加热进水管相通。

当腐蚀槽内酸液温度过低时,开启加热装置,加热装置对其内的水进行加热,热水输入换热管并与槽体内的酸液换热,使酸液温度升高。

本实用新型的进一步结构是:

该腐蚀槽还包括由压缩机、节流元件、两个换热器连接形成的换热工质循环回路,该两个换热器中至少有一个为水侧换热器,在水侧换热器的水侧设有换热器进水管、换热器出水管,换热水管的进水口、出水口分别所述换热器出水管、换热器进水管相通。当腐蚀槽的温度过高时,开启压缩机,换热工质(如氟里昂)在压缩机的作用下在两个换热器之间形成循环,水侧换热器为蒸发器,另一个换热器为冷凝器,换热工质在水侧换热器内蒸发而吸收热量并将水侧换热器水侧的水冷却,该冷水输入换热水管中并与槽体中的酸液换热,酸液温度降低而达到合适温度。该结构中,加热进水管、加热出水管以及换热器进水管、换热器出水管与同一换热水管连接,也可分别与各自的换热水管连接,即:

所述换热水管为两个,其上均设有进水口、出水口,且其中一个所述换热水管的进水口、出水口分别与换热器出水管、换热器进水管相通,另一个所述换热水管的进水口、出水口分别与加热出水管、加热进水管相通。

所述换热管可以设于槽体的内壁,以增强其换热效果,但此时所述换热管应为耐腐蚀管,也可将所述换热管设于槽体的外壁,避免换热管被槽体内的酸液腐蚀,使用寿命长。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的结构图;

图2是本实用新型实施例二的结构图;

附图标记说明:

1、槽体,2、换热水管,3、进水口,4、出水口,5、压缩机,6、节流元件,7、水侧换热器,8、风侧换热器,9、换热器进水管,10、换热器出水管,11、加热装置,12、加热进水管,13、加热出水管。

具体实施方式

实施例一

如图1所示,一种温控氮氧化硅腐蚀槽,包括耐酸的槽体1,槽体1采用石英材料或其它耐酸材料,在槽体1的外壁设有换热水管2,换热水管2上设有进水口3、出水口4;该腐蚀槽还包括加热装置11及由压缩机5、节流元件6、两个换热器连接形成的换热工质循环回路,该两个换热器中一个为水侧换热器7、另一个为风侧换热器8,在水侧换热器7的水侧设有换热器进水管9、换热器出水管10;加热装置11上设有加热进水管12、加热出水管13;换热水管2的进水口3同时与换热器出水管10、加热出水管13相通,出水口4同时与换热器进水管9、加热进水管12相通。

本实施例中,当槽体1内酸液温度偏低时,加热装置11开启并通过其相应的换热水管2对槽体1内的酸液进行加热,当槽体1内酸液温度偏高时,关闭加热装置11及其相应的换热水管2,压缩机5开启,换热工质依次流经压缩机5高压端、风侧换热器8、节流元件6、水侧换热器7、压缩机5低压端,水侧换热器7制冷,其水侧的冷水输入换热水管2中用于对槽体1内的酸液冷却,以保持槽体1内酸液的温度恒定。

实施例二

如图2所示,本实施例中,换热水管2为两个,其中一个换热水管2的进水口3、出水口4分别与换热器出水管10、换热器进水管9相通,另一个换热水管2的进水口3、出水口4分别与加热出水管13、加热进水管12相通。即在对腐蚀槽加热、冷却时,分别通过不同的换热水管2,其原理与实施例一相同。

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