[实用新型]一种石英晶片腐蚀机

说明书

技术领域

本实用新型涉及石英晶片腐蚀领域，尤其涉及一种石英晶片腐蚀机。

背景技术

石英晶体的研究开发和生产活动中，对晶片的生产加工需要一个腐蚀过程。现有技术的腐蚀工艺为在晶片腐蚀机的机械臂上悬挂腐蚀架，该腐蚀架具有若干蜂窝状空格，每个空格中装载一个被腐蚀的晶片，装载晶片的空格既要使腐蚀液充分进入，又不能让晶片掉出来，因此这种腐蚀架结构比较复杂。悬挂完毕之后晶片腐蚀机的机械臂带动腐蚀架在腐蚀液内上下往复运动，对晶片表面进行腐蚀作业。腐蚀完成后需要将腐蚀架内的晶片连同腐蚀架一起清洗干净，再将腐蚀架拆开，把晶片取出。

因此，大量的生产实践表明现有的石英晶片腐蚀机具有以下缺点：

1、生产投入大，成本高，主要表现为人力成本较高，尤其对于大规模生产，需要安排大量员工，进行装入晶片和组合、装卸腐蚀架。

2、工人劳动强度大，生产效率低，现有的工艺过程过多的依靠工人手动操作，自动化程度低。

3、晶片易碎易裂导致在装卸腐蚀架过程中，晶片损失大，产品成本增加。

综上可知，所述现有技术的石英晶片腐蚀机在实际使用上显然存在不便与缺陷，所以有必要加以改进。

实用新型内容

针对上述的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种石英晶片腐蚀机，以提高石英晶片腐蚀的工作效率，降低操作者的劳动强度以及生产成本。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种石英晶片腐蚀机，包括控制系统、若干组驱动系统、腐蚀系统以及清洗系统，其中，每一组驱动系统对应所述腐蚀系统和清洗系统中的一对腐蚀槽和清洗槽，所述每一组驱动系统包括：

摆动机构，具有

机械手，其上端设置有从动齿轮，下端设置有挂钩，该挂钩钩挂一腐蚀篮，该腐蚀篮内任意容装若干待腐蚀石英晶片；该机械手的中部设置连杆，通过该连杆与机械臂的下端连接；

机械臂，其上端设置有旋转气缸，其下端通过所述连杆与所述机械手连接；

副机械臂，其上端通过一曲柄摇杆机构与减速电机输出轴连接；其下端设置有主动齿轮，当所述腐蚀篮置于所述腐蚀槽中进行腐蚀时，该主动齿轮与所述从动齿轮啮合；

滑动机构，具有

平行滑道，该平行滑道由两组直线轴承、两组直线轴以及轴固定架组装而成；

滑动板，该滑动板安装于所述平行滑道上，并且所述摆动机构安装于该滑动板上；

双向气缸，该双向气缸安装于所述滑动机构上，其作用点对应于所述滑动板，并且该双向气缸上设置若干磁性开关，以控制所述滑动板上下往复运动。

根据本实用新型的石英晶片腐蚀机，所述副机械臂上端设置第二摇臂，该第二摇臂通过一摆杆连接到所述减速电机输出轴上设置的与所述第二摇臂长度不等的第一摇臂；其中，所述减速电机转动带动所述第一摇臂作周转运动，通过摆杆的带动所述第二摇臂作正反往复运动，由该第二摇臂带动所述副机械臂作正反往复旋转运动；

所述机械手通过其上端设置的从动齿轮与所述副机械臂下端设置的主动齿轮的啮合，作正反往复旋转运动；

所述双向气缸的上、中、下部分别设置一个磁性开关，通过所述双向气缸的中部和下部的两个磁性开关感应双向气缸活塞的磁环信号，以控制所述滑动板上下往复运动；以及

所述双向气缸上部的磁性开关感应该双向气缸活塞的磁环信号，控制所述滑动板沿所述平行滑道向上滑动至所述机械手钩挂的腐蚀篮的水平位置高度，高于所述腐蚀槽与清洗槽之间的槽壁的高度；以及，所述机械臂上端的旋转气缸转动带动与所述机械臂连接的机械手产生转动，以控制所述机械手转换于腐蚀槽与清洗槽的工位。

根据根据本实用新型的石英晶片腐蚀机，所述双向气缸的两端设置有限流器，该限流器调节滑动板上下往复运动的频率；和/或

所述旋转气缸上设置有两个磁性开关，通过所述两个磁性开关以及一电磁阀组控制所述旋转气缸转动带动所述机械臂正反往复旋转运动。

根据本实用新型的石英晶片腐蚀机，所述滑动板上下往复运动的行程由所述双向气缸的中部和下部的两个磁性开关的距离决定；

所述机械手钩挂的腐蚀篮在转换腐蚀槽与清洗槽工位时的水平位置高度，由所述双向气缸的上部磁性开关控制。

根据本实用新型的石英晶片腐蚀机，所述副机械臂带动所述机械手在腐蚀槽中作正反往复旋转运动的旋转弧度为90～115弧度；

所述机械臂带动所述机械手在腐蚀槽或清洗槽中工作以转换工位的旋转弧度为180弧度。