[实用新型]夹取硅片的石英舟

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及硅片制作技术领域，尤其涉及一种夹取硅片的石英舟。

【背景技术】

在半导体制作工艺中，经常需要将花篮里面的硅片夹取出来放置到石英舟里，或者将石英舟里面的硅片夹取出来放置到花篮里去。目前，上述操作一般是工作人员利用镊子或夹子来夹取硅片。这种方式的缺点在于，由于花篮或石英舟中承载放置硅片的座槽的间隙很小，放置于其中的硅片的间隙也很小，人为地夹取放置极易产生硅片与硅片之间的摩擦而划伤硅片，这对硅片元器件的电特性有致命的影响。此外，一片片地夹取硅片，每次只能夹取一片硅片，工作效率低。

【实用新型内容】

本实用新型的目的是提供一种夹取硅片的石英舟，可以避免硅片转移时被划伤，并提高工作效率。

为达到上述实用新型目的，本实用新型提出以下的技术方案：

一种夹取硅片的石英舟，包括固定条及两个以上卡片条，所述卡片条相互平行地固定在固定条上并与所述固定条垂直，所述卡片条上设有与硅片相适应的座槽。

其中，所述卡片条包括一个以上底架条、两个以上支架条、两个以上边架条：

所述底架条、支架条及边架条相互平行，所述支架条位于底架条外侧，所述边架条位于支架条外侧；所述固定条与所述底架条、支架条及边架条垂直，所述固定条与所述底架条、支架条及边架条固定连接；所述底架条上设有与花篮上座槽相适应的底架座槽，所述边架条上设有与花篮上座槽相适应的边架座槽。

其中，还包括一夹取件，所述支架条含有可容入所述夹取件的空腔。

其中，所述支架条为两个；所述边架条为两个；所述固定条为三个。

其中，所述固定条呈圆滑的圆弧状或弯折的圆弧状。

其中，所述卡片条包括两个以上支架条、两个以上边架条：

所述支架条及边架条相互平行，所述边架条位于支架条外侧；所述固定条与所述支架条及边架条垂直，所述固定条与所述支架条及边架条固定连接；所述边架条上设有与花篮上座槽相适应的边架座槽。

其中，所述支架条上设有与花篮上座槽相适应的支架座槽。

其中，还包括一夹取件，所述支架条含有可容入所述夹取件的空腔。

其中，所述支架条为两个；所述边架条为两个；所述固定条为三个。

其中，所述卡片条包括一个以上底架条、两个以上边架条：

所述底架条及边架条相互平行，所述边架条位于底架条外侧；所述固定条与所述底架条及边架条垂直，所述固定条与所述底架条及边架条固定连接；所述底架条上设有与花篮上座槽相适应的底架座槽，所述边架条上设有与花篮上座槽相适应的边架座槽。

从以上技术方案可以看出，本实用新型根据花篮的尺寸以及硅片与硅片之间的间隙宽度，使石英舟上放置硅片的每个座槽与花篮的每个座槽一一对应。当需要将花篮里面的硅片夹取出来放置到石英舟时，首先将石英舟与花篮扣合在一起，翻转后石英舟置于花篮下方，然后取掉花篮，完成硅片与石英舟之间的转移。当需要将石英舟里面的硅片夹取出来放置到花篮里去时，首先将花篮与石英舟扣合在一起，翻转后花篮置于石英舟下方，然后移走石英舟，即可将硅片从石英舟转移到花篮中。本实用新型一次即可将花篮或石英舟里的硅片全部转移，工作效率较高；更为重要的是，本实用新型直接将硅片转移，操作过程无需镊子或夹子进行夹取，避免人为夹取放置时硅片与硅片之间产生摩擦造成划伤，提高了产品品质。

【附图说明】

图1为本实用新型结构的俯视图；

图2为本实用新型结构的正视图；

图3为图2中A-A方向的截面图；

图4为图3中B部分的局部放大图。

【具体实施方式】

下面结合具体的实施例及说明书附图对本实用新型的目的、技术方案以及优点进行详细的描述。

本实用新型的目的在于设计一种与花篮配套的石英舟，即根据花篮的尺寸以及硅片与硅片之间的间隙宽度，使石英舟上放置硅片的每个座槽与花篮的每个座槽一一对应，可以一次性直接转移硅片，从而避免硅片转移时被划伤，并且有效地提高工作效率。

本实用新型的夹取硅片的石英舟，包括固定条及两个以上卡片条，所述固定条呈圆弧状，所述卡片条相互平行地固定在固定条上并与所述固定条垂直，所述卡片条上设有与硅片相适应的座槽。所述卡片条可以为底架条、两支架条、边架条的组合。

实施例一

如图1、2、3、4所示，本实用新型提供一种夹取硅片的石英舟，包括一个以上底架条1、两个以上支架条2、两个以上边架条3以及一个以上固定条4。其中，所述支架条2可以为两个，所述边架条3可以为两个，所述固定条4可以为三个。