[实用新型]高静压电容传感器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种测量压力的传感器，特别是一种高静压电容传感器。

背景技术

一般常用的电容差压/压力传感器均是采用平行板电容器原理，其结构如图2所示，包括左膜座1、右膜座2、测量膜片3、隔离膜片4及焊环5，其中，左膜座1和右膜座2的曲面相对与夹在中间的所述测量膜片3焊接在一起，左膜座1和右膜座2的外端面均焊接有隔离膜片4和焊环5。该传感器的加工工艺流程如下：先将绝缘体(陶瓷体或玻璃体)与金属外壳，在高温下采用陶瓷金属化方法烧结在一起，然后对膜座的基底(绝缘体)进行研磨，加工成所需的曲面，再在此基底上镀金属膜层，之后在此金属膜层上镀绝缘膜层，最后将按上述工艺制成的膜座曲面相对与夹在中间的测量膜片3焊接在一起。由于左膜座1和右膜座2与测量膜片3焊接在一起，在高静压作用下，左膜座1和右膜座2与测量膜片3的焊接处变形产生较大的应力，导致测量膜片3失稳，直接影响电容结构的变化，最终导致测量结果不准确。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于对膜座与测量膜片的焊接处进行加固，以提高传感器测量结果的精确性。

为了解决上述问题，本实用新型的技术方案为：一种高静压电容传感器，包括左膜座、右膜座、测量膜片、隔离膜片及焊环，其中，左膜座和右膜座的曲面相对与夹在中间的所述测量膜片焊接在一起，所述左膜座和右膜座的外端面各焊接有隔离膜片和焊环，所述左膜座的内端固套有左压环，所述右膜座的内端固套有右压环，该右压环和所述左压环焊接在一起。

本实用新型通过设在左膜座、右膜座及测量膜片焊接处的压环，对膜座进行加固，有利于增加测量结果的精确性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为改进前电容传感器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例进一步对本实用新型加以说明。

如图1所示，高静压电容传感器主要由左膜座1、右膜座2、测量膜片3、隔离膜片4及焊环5组成，其中，左膜座1和右膜座2均由金属外壳、玻璃体及金属膜层固接成一体，在金属座和玻璃体的中央设有贯通的硅油腔，在硅油腔内装有硅油，金属膜层的内侧与导线8的一端连接，导线8的另一端经金属座上的引线孔穿出。加工时，先将左压环6套在左膜座1的右端，右压环7套在右膜座2的左端，再将左膜座1和右膜座2的曲面相对与夹在中间的测量膜片3焊接在一起，然后再将右压环7和左压环6移动到中间焊接在一起，再将右压环7和左压环6分别焊接在右膜座2和左膜座1上。最后在左膜座1和右膜座2的外端面分别焊接隔离膜片4和焊环5。