[实用新型]一种硅片甩干机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片甩干机，属晶体硅制备装置技术领域。

背景技术

现有硅片甩干机多为进口设备，主流甩干方式采用水平旋转甩干，该结构兼容性强，操作简单。4、5、6、8、寸硅片均可用该设备甩干。设备内腔由不锈钢组成，甩干过程分两步，低速旋转一段时间后再进行高速旋转，进风通过设备顶部的高效过滤单元直接取自净化间。

该设备与传统的单cassette垂直甩干方式相比具有甩干时间短，效率高，一次可甩干4个cassette，操作、安装简单等特点。

设备在雨水较多，大气空气质量较好的环境下安装使用时没有任何问题，但在秋冬两季，空气干燥，大气空气质量不好以及净化间温湿度控制不当时，清洗甩干后的硅片在存放一段时间后会出现色斑，在强光灯或颗粒检测仪下看是一些密集的点状缺陷，会严重的影响器件的成品率。

该缺陷产生的原因在于，该类型的甩干机转速只有1000转/分，片子在甩干完成后，干燥不充分，在净化间存在有机物或其它的酸根和碱根离子时，会形成时间依敕性的雾，时间依敕性的雾就是一些点状缺陷，而且也会影响栅氧的完整性，造成漏电，考虑该设备的进风是通过空气过滤装置直接将净化间的空气给入的，国内现有净化厂房条件与国外发达技术相比存在差距，净化间中的Airborne molecular contamination不易控制。因此在甩干过程中加装氮气保护就变得非常重要。

实用新型内容

本实用新型需要解决的技术问题是提供一种硅片甩干机，通过对现有甩干机的结构改造，使甩干后的产品干燥充分，彻底解决硅片表面形成时间依敕性雾的缺陷。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种硅片甩干机，其结构中包括，腔体，腔体内设置旋转体，旋转体上承载硅片架，腔体顶部设置包括空气过滤装置的顶盖，空气过滤装置由过滤介质、隔板和框架组成，在甩干机顶盖上设置有连通空气过滤装置的氮气进气口。

本实用新型的上述技术方案的进一步改进在于：氮气进气口与空气过滤装置之间设置一互相连通的氮气箱。

由于采用了上述技术方案，本实用新型取得的技术进步是：

本实用新型通过加装氮气进气装置，使设备具有强制干燥功能，片子在甩干的同时，附加氮气干燥作用，可彻底去除表面的水气，解决表面形成时间依敕性雾的问题，同时空气过滤装置又保证了硅片表面的颗粒不超标，本新型结构在不改变原有结构前提下进行改进，结构简单，性能可靠。

附图说明

图1是新型硅片甩干机结构原理示意图；

其中：1、空气过滤装置，2、氮气箱，3、氮气进气口，4、旋转体，5、硅片架，6、腔体，7、顶盖。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步详细说明：

如图1所示，本实用新型结构包括，腔体6，腔体6内设置旋转体4，旋转体4上承载硅片架5，腔体6顶部设置包括空气过滤装置1的顶盖7，空气过滤装置1由过滤介质、隔板和框架组成，甩干机顶盖7上设置有连通空气过滤装置1的氮气进气口3；氮气进气口3与空气过滤装置1之间设置互相连通的氮气箱3。

清洗甩干过程：

1.打开氮气进气口3的控制阀门，把待甩干的清洗干净的硅片及硅片架5放在甩干机承载装置内。

2.启动甩干程序则带有氮气箱2及空气过滤装置1的甩干机项盖7自动盖上，开始甩干过程。

3.程序结束后，顶盖7自动打开，取出带有已干燥的硅片的硅片架5。