[实用新型]一种压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构

权利要求书

1.一种压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，其结构包括，压电悬臂梁、柔性薄膜、微槽道、微喷孔；其特征在于：在液体喷射结构外表面设置与微槽道相通的微喷孔，柔性薄膜覆盖于微槽道的顶部，作为液体喷射驱动器的压电悬臂梁在微槽道顶部柔性薄膜的外部平行放置或与柔性薄膜的夹角为锐角；与微槽道相通的微喷孔、微槽道、微槽道顶部的柔性薄膜、压电悬臂梁相结合构成液体喷射结构。

2.根据权利要求1所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，其特征在于，所述压电悬臂梁的一端或一侧与衬底相连，压电悬臂梁的一端或一侧固定，其它部分悬空可动。

3.根据权利要求1所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，其特征在于，所述压电悬臂梁在每个微槽道顶部柔性薄膜的外部至少放置一个。

4.根据权利要求1所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，其特征在于，所述压电悬臂梁为包含压电层和非压电层的多层复合结构，其中至少包含一层压电层及其上、下电极层。

5.根据权利要求1所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，其特征在于，所述压电悬臂梁中的各层，覆盖整个悬臂梁，或部分地分布于悬臂梁上。

6.根据权利要求1所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，其特征在于，所述柔性薄膜为有机薄膜材料，或掺入添加剂的有机薄膜材料。

7.根据权利要求1所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，其特征在于，所述压电悬臂梁在微槽道顶部柔性薄膜的外部与柔性薄膜外表面直接相接触或不接触，或通过粘接的方式与柔性薄膜外表面相接。

8.根据权利要求1所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构，其特征在于，所述压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构中，包含至少一组与微槽道相通的微喷孔、微槽道、微槽道顶部的柔性薄膜、压电悬臂梁，构成压电悬臂梁驱动柔性薄膜式液体喷射结构阵列。