[实用新型]量具

权利要求书

1.一种量具，用于量测晶圆与点胶机喷嘴之间的间距，所述量具包括：

底板，量测时位于晶圆与点胶机喷嘴之间；

设于所述底板的倾斜体，在斜面或沿面标有标识间距尺度的刻度。

2.根据权利要求1所述的量具，其特征在于，所述倾斜体包括锲形结构的截面。

3.根据权利要求1所述的量具，其特征在于，所述底板与倾斜体一体成型。

4.根据权利要求1所述的量具，其特征在于，所述底板与倾斜体结合成型。

5.根据权利要求1所述的量具，其特征在于，所述底板包括与所述晶圆一致的圆盘，所述倾斜体包括沿所述底板中心而对称设置的二倾斜子体。

6.根据权利要求5所述的量具，其特征在于，所述倾斜子体包括四分之一圆的投影范围。

7.根据权利要求6所述的量具，其特征在于，所述倾斜子体包括在所述投影范围内自底板表面渐次向上所形成的斜面。

8.根据权利要求7所述的量具，其特征在于，所述倾斜子体包括锲形结构的截面，且所述截面在投影范围内包括渐次变大的特征。

9.根据权利要求5所述的量具，其特征在于，所述底板与倾斜子体一体成型。

10.根据权利要求5所述的量具，其特征在于，所述底板与倾斜子体结合成型。